[发明专利]半导体设备报警分析方法及装置有效
| 申请号： | 201911058206.9 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN110795414B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘忠任 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/18 | 分类号： | G06F16/18;G06F16/335 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备报警分析方法及装置，该方法包括：在报警触发后，根据报警配置文件中预置的报警信息项目收集所述报警对应的报警信息，并将所述报警信息保存在报警信息数据库中；根据所述报警的报警编号，在所述数据库中查找所述报警信息，并根据所述报警编号和所述报警信息在运行日志中查找与所述报警信息对应的运行信息；对比所述运行信息与所述报警信息，确定所述报警产生的报警原因；生成并输出报警提示信息，所述报警提示信息中包括所述报警信息、所述报警原因。通过本发明可以分析报警问题产生原因，为寻找解决方案提供了依据，节省了报警处理的成本，提高了报警处理的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 报警 分析 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体设备报警分析方法，其特征在于，所述方法包括：/n在报警触发后，根据报警配置文件中预置的报警信息项目收集所述报警对应的报警信息，并将所述报警信息保存在报警信息数据库中；/n根据所述报警的报警编号，在所述数据库中查找所述报警信息，并根据所述报警编号和所述报警信息在运行日志中查找与所述报警信息对应的运行信息；/n对比所述运行信息与所述报警信息，确定所述报警产生的报警原因；/n生成并输出报警提示信息，所述报警提示信息中包括所述报警信息、所述报警原因。/n
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