[发明专利]一种用于旋涂设备的液位报警系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件生产领域，尤其涉及一种用于旋涂设备的液位报警系统。

背景技术

在半导体制造领域，SOG(Spin on Glass)是一种由溶剂与介电质混合而成的液态介电质。因为含有SiO₂或接近SiO₂结构的材料，再加上本身是以旋涂的方式来涂布在芯片的表面，因此称这种液态介质为“旋涂玻璃”。SOG是一种相当简易的平坦化技术，因为介电层材料是以溶剂的形态覆盖在硅片表面，因此SOG对高低起伏外观的“沟填能力”非常好，可以避免纯粹以CVD法制作介质层时所面临的孔洞问题。

如图1所示，为现有技术用于旋涂玻璃的旋涂装置的结构图，包括源瓶14、出液管道12、以及设置于出液管道12上的气泡传感器13，气泡传感器13设置在源瓶14外侧的上端，安装在八分之一英寸的出液管道12的上方，并且使得出液管道12穿过气泡传感器13，气泡传感器13便可以检测到源瓶14中是否还有液体。当源瓶14中液位低于出液管道12的下端端口时，气泡进入到出液管道12中，出液管道12中有气泡产生，气泡传感器13在检测到存在气泡时出现报警，于是停止硅片工艺。

现有技术的缺点是：

当出现报警时，出液管道中已经有气泡，极易造成当前硅片涂花；另外，当瞬间出现气泡时，气泡传感器不易感应到，以至不能及时报警；

当报警后，后续的硅片将需要手动取出，更换液源后才可以继续工艺，处理起来会非常繁琐，并易造成硅片的人为划伤。

发明内容

本发明的目的在于提供用于旋涂设备的液位报警系统，解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产效率。

本发明还提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；

所述液位传感器，设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内液面的高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；

所述开关电路，连接所述液位传感器和所述主机之间，将所述液位传感器的输出信号关传送给所述主机；

所述主机，用于接收所述开关电路传送的信号，触发报警。

本发明相比现有技术的优点：

本发明提供的用于旋涂设备的液位报警系统，在发出报警后，出液管道中实际上还有旋涂玻璃SOG液体，不会对当前硅片有影响；并且在安装时将液位传感器的设置高度与液位的报警高度相匹配，当检测到所述源瓶内液面的高度低于所述报警高度时，输出信号给开关电路；再由开关电路将信号输送给主机，进行报警，本发明在发出报警后，还可以工艺多片硅片，但出液管道中仍然不会有气泡产生，这样方便工程师处理故障，提高了设备利用率；本发明减少了手动取片可能导致的划伤等问题，简化了制备工艺，节约了设备和资材成本。

附图说明

图1为现有技术的SOG旋涂设备的结构示意图；

图2为本发明系统实施例一的装置结构示意图；

图3为本发明系统实施例一的系统控制电路图；

图4为本发明系统实施例二结构剖面图。

具体实施方式

本发明的目的在于，提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产效率。

本发明提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；

所述液位传感器设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内的液面高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；

所述开关电路连接所述液位传感器和所述主机，将所述液位传感器的输出信号关传送给所述主机；

所述主机用于接收所述开关电路传送的信号，触发报警。

优选的，所述液位传感器设置于固定在所述源瓶外部的连接支架上，所述连接支架与所述源瓶之间的距离在所述感应距离内。

较优的，所述源瓶上设有固定板，所述连接支架一端与所述固定板连接，另一端与所述液位传感器相连接。