[发明专利]一种蓝宝石晶体生长方法无效
| 申请号： | 201110273269.3 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102286782A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;冯金生 | 申请（专利权）人： | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 213200 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石晶体生长方法，给坩埚轴设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置，给籽晶杆同样设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置，所有移动装置、传动装置均与控制器连接，该方法的控制过程是：先通过加热器将坩埚中的多晶原料加热熔化：然后对真空室抽真空，使得坩埚、加热器、加热熔化的多晶原料、籽晶、蓝宝石晶体都处于真空状态；再通过控制器控制籽晶杆和坩埚轴作相同方向的旋转运动，使得坩埚配合籽晶杆上的籽晶进行拉晶，实现蓝宝石晶体的生长。本发明的方法，保证生长环境中温度的均匀性、对称性，晶体的生长效果好，生长晶体的质量得到明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体生长 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶体生长方法，其特征在于：依赖一种装置，该装置的结构是，包括安装在坩埚轴(1)上端的坩埚(3)，坩埚(3)周围设置有加热器(5)，坩埚(3)上方设置有籽晶杆(8)，籽晶杆(8)的下端连接有籽晶(7)；坩埚(3)、加热器(5)、籽晶(7)、籽晶杆(8)都处在真空室(2)内，真空室(2)设置有抽真空装置，给坩埚轴(1)设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置，给籽晶杆(8)同样设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置，所有移动装置、传动装置、加热器(5)、抽真空装置均与控制器连接，该方法的控制过程是，先通过加热器(5)将坩埚(3)中的多晶原料(4)加热熔化，然后对真空室(2)抽真空，使得坩埚(3)、加热器(5)、加热熔化的多晶原料(4)、籽晶(7)、蓝宝石晶体(6)都处于真空状态；再通过控制器控制籽晶杆(8)和坩埚轴(1)作相同方向的旋转运动，使得坩埚(3)配合籽晶杆(8)上的籽晶(7)进行拉晶，实现蓝宝石晶体的生长。
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