[发明专利]多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置

摘要

一种多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置，其特征是在回转基体周围分别安装着两个或多个喷射加工单元，使上述回转基体保持旋转，实现多种组分的同步喷射电沉积。本发明可以很方便地实现对多层膜的组分、调制波长、微观结构等参数的精密调控，人为设计和制备所需特性的多层膜，制备两种或两种以上子层交替的多层膜，这些多层膜的子层可以是纯金属、合金等，晶体结构也可以多种多样，具有设备简单、节约成本、高效快捷、容易控制、加工过程足够稳定等优点。

主权项

一种多元喷射电沉积加工多层膜的方法，其特征是它包括以下步骤：    首先，使被沉积环形基体以设定的速度转动；    其次，在环形基体的周围设置多个喷射加工单元，每个喷射加工单元之间通过隔板分隔；    第三，在环形基体转动的过程中，使各喷射加工单元按设定的次序向环形基体的表面喷射电沉积液，在环形基体表面至少形成两层组份相同或不相同的电沉积，形成所需层数的多层膜。