[发明专利]一种串联提高固态源使用效率的方法无效
| 申请号： | 201110260637.0 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102330071A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 刘波波;白俊春;李培咸;王旭明;王晓波;孟锡俊;郭迟 | 申请（专利权）人： | 西安中为光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/455 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种串联提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：步骤1：将同型号的两个源瓶串联，具体做法是：将同型号的第一源瓶和第二源瓶放入温度为20～35℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶的出口与第二源瓶的进口相连通；步骤2：当第一源瓶和第二源瓶内的压力为750～850torr时，将载气N2或者H2通入第一源瓶进口，通过载气的运输将源从第一源瓶内输送到第二源瓶内，源的输送流量为300～400sccm；本发明方法具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 串联 提高 固态 使用 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高固态源使用效率的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：将同型号的两个源瓶串联，具体做法是：将同型号的第一源瓶(1)和第二源瓶(2)放入温度为20～35℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶(1)的出口(3)与第二源瓶的进口(4)相连通；步骤2：当第一源瓶(1)和第二源瓶(2)内的压力为750～850torr时，将载气N2或者H2通入第一源瓶进口(5)，通过载气的运输将源从第一源瓶(1)内输送到第二源瓶(2)内，源的输送流量为300～400sccm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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