[发明专利]一种串联提高固态源使用效率的方法

说明书

技术领域

本发明属于固态源使用技术领域，具体涉及一种串联提高固态源使用效率的方法。

背景技术

MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemi cal Vapor Deposition)的英文缩写。在MOCVD生产中，固体TMIn源使用效率低成为主要的问题，对于固态TMIn源，其饱和蒸汽压的稳定性和使用效率一直是用户关注的焦点，对于传统源瓶，当源的量多时，源瓶内的空间较小，上下的饱和蒸汽压基本相等而且稳定。当源瓶内源的量用到较少时，源瓶内空间较大，很难保证顶部和底部的饱和蒸汽压相同，此时顶部气体中源的饱和蒸汽压不稳定，导致源瓶中源的使用效率低。目前，提高效率的方法主要有两种，第一种是采用不同设计的源瓶，第二种通过敲击源瓶来提高其使用效率，但这两种方法各有优缺点，第一种使用效率可达95％，但价格昂贵；第二种价格低，但使用效率最高到65％。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种串联提高固态源使用效率的方法，具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种串联提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：

步骤1：将同型号的两个源瓶串联，具体做法是：将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为20～35℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口3与第二源瓶的进口4相连通；

步骤2：当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为750～850torr时，将载气N₂或者H₂通入第一源瓶进口5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为300～400sccm。

本发明基于传统源瓶，在同一温度的水浴槽中，对于同型号源只需将两个源瓶串联同时使用，通过载气的运输将源从前一个源瓶运送到后一个源瓶，直到第一个源瓶中的源全部被传送到后一个源瓶，将固态源的使用效率提高到98％，具有操作简单，固态源使用效率高，不影响外延层的性能，适用范围广的特点。

附图说明

附图是本发明方法示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

实施例一

如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：

步骤1：将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为28℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口3与第二源瓶的进口4相连通；

步骤2：当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为800torr时，将载气N₂或者H₂通入第一源瓶进口5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为360sccm。

实施例二

如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：

步骤1：将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为20℃的同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口3与第二源瓶的进口4相连通；

步骤2：当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为750torr时，将载气N₂或者H₂通入第一源瓶进口5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为300sccm。

实施例三

如附图所示，本实施例提高固态源使用效率的方法，包括以下步骤：

步骤1：将同型号的第一源瓶1和第二源瓶2放入温度为35℃同一水浴槽中，并将第一源瓶1的出口3与第二源瓶的进口4相连通；

步骤2：当第一源瓶1和第二源瓶2内的压力为850torr时，将载气N₂或者H₂通入第一源瓶进口5，通过载气的运输将源从第一源瓶1内输送到第二源瓶2内，源的输送流量为400sccm。

如附图所示，源瓶2还设有出口6，通过载气的运输将源从源瓶1中全部运送到源瓶2中，使得源瓶1的高固态源的使用率达到98％。