[发明专利]一种工件台质量测校方法

摘要

一种工件台质量测校方法，工件台上安装有电机动子，位于工件台下方的平衡质量上安装有电机定子，包括规划工件台的匀速运动轨迹；电机驱动工件台按照规划的匀速运动轨迹做匀速运动，平衡质量受到工件台的作用力做相应的匀速运动，工件台采用闭环控制，平衡质量采用开环控制；根据平衡质量的位移、工件台相对于平衡质量的位移分别计算获得平衡质量的速度vbm_rel、工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel；根据工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel计算获得电机的磁铁扰动力频率fcog；根据磁铁扰动力频率fcog和平衡质量的质量mbm_rel计算获得工件台和平衡质量的质量比κ和工件台的质量mls。本方法简单实用、不需要特别设计算法，便于在线测试。

主权项

一种工件台质量测校方法，其特征在于，所述工件台上安装有电机动子，位于所述工件台下方的平衡质量上安装有电机定子，包括以下步骤：步骤1，规划所述工件台的匀速运动轨迹；步骤2，所述电机驱动所述工件台按照规划的匀速运动轨迹做匀速运动，所述平衡质量受到所述工件台的作用力做相应的匀速运动，所述工件台采用闭环控制，所述平衡质量采用开环控制；步骤3，根据所述平衡质量的位移、工件台相对于平衡质量的位移分别计算获得所述平衡质量的速度vbm_rel、工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel；步骤4，根据工件台相对于平衡质量的速度vls2bm_rel计算获得所述电机的磁铁扰动力频率fcog；步骤5，根据磁铁扰动力频率fcog和所述平衡质量的质量mbm_rel计算获得所述工件台和所述平衡质量的质量比κ和所述工件台的质量mls。