[发明专利]加工物体的方法有效
| 申请号： | 201110230743.4 | 申请日： | 2011-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102332382B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | J·比伯杰;R·普尔维;J·帕卢斯金斯基;D·多尼茨;H·马蒂;M·斯泰格沃尔德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于确定的加工强度，将离子束引导到多个位置，从而在多个位置从物体移除材料或者在物体上沉积材料。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 物体 方法 | ||
【主权项】：
一种加工物体的方法，其中该方法包括：一顺序，该顺序包括：在所述物体的表面上扫描粒子束并且探测由于所述扫描而从所述物体逸出的电子；基于所述探测的电子，对所述物体的所述表面上的多个位置中的每一个，确定所述物体的所述表面与预定表面的高度差；基于所述确定的高度差，对所述物体的所述表面上的所述多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于所述确定的加工强度，将粒子束引导到所述多个位置，从而在所述多个位置处从所述物体移除材料或者在所述物体上沉积材料，其中对于所述多个位置的每个，该顺序被反复执行。
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