[发明专利]超短脉冲激光制作金属薄膜群孔的装置及其方法无效
| 申请号： | 201110211814.6 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102319960A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;张伟 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/16 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及超短脉冲激光制作金属薄膜群孔的装置及方法，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有振镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的上方布置有CCD对位观察系统，工作平台上安装有一组夹紧气缸，工作平台的一侧布置有吹气系统，工作平台的另一侧安装有集尘系统，工作平台的下方也安装有集尘系统。通过对超短脉冲激光器进行光学聚焦，使焦点在金属薄膜材料上，高效运用激光器的能量；通过控制超短脉冲激光器的脉冲个数和脉冲之间持续时间，调制出形成每个金属薄膜孔径的脉冲个数和时间，依次加工每个金属薄膜上所需孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 超短 脉冲 激光 制作 金属 薄膜 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
超短脉冲激光制作金属薄膜群孔的装置，其特征在于：高频率短脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有45度全反射镜（4），45度全反射镜（4）的输出端依次布置有振镜（5）和扫描场镜（6），扫描场镜（6）正对于工作平台（9），所述工作平台（9）的上方布置有CCD对位观察系统（7），所述工作平台（9）上安装有一组夹紧气缸（8），所述工作平台（9）的一侧布置有吹气系统（10），工作平台（10）的另一侧安装有集尘系统（11），工作平台（10）的下方也安装有集尘系统。
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