[发明专利]多方向上反射的光源的采集系统和方法有效
| 申请号: | 201110208025.7 | 申请日: | 2011-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN102412170A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
| 发明(设计)人: | 阿曼努拉·阿杰亚拉里 | 申请(专利权)人: | 联达科技设备私人有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G01N21/95 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
| 地址: | 新加坡新加坡加冷盆*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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| 摘要: | 根据本发明的光学检测系统可以配置成同时采集基底表面所反射的多方向上的光,因此克服了由基底表面外观的不准确或不完整的特征引起的反射强度变化,当仅从单一方向来采集光的时候,所述的反射强度会上升。一个这种系统包括一组光源和一图像采集设备配置成同时采集所述表面反射的至少两束光。所述图像采集设备同时采集的至少两束光具有与它们的反射传播路径不同的方向夹角。该光源组可以包括一组细线光源安置和配置成提供入射到所述表面的一束或者多束细线光。例如,两束细线光可以以与所述表面的一个垂直轴成不同的入射角被引向所述表面。 | ||
| 搜索关键词: | 多方 向上 反射 光源 采集 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种装置,其特征在于,包括:一组被配置成用于提供光的光源,所述的一组光源所提供的光被射向一个检测位置,所述的检测位置相当于检测中的表面,所述表面至少在第一方向和第二方向上反射所述光;一第一反光镜组被安置并配置成用于接收由所述表面在第一方向上所反射的光并将所接收的光沿着第一反射光传播路径射出;一第二反光镜组被置和配置成用于接收由所述表面在第二方向上所反射的光并将所接收的光沿着第二反射光传播路径射出;以及一图像采集设备+被配置成同步接收沿着第一和第二光传播路径传播的光以分别提供一第一反应和一第二反应。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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