[发明专利]多方向上反射的光源的采集系统和方法

权利要求书

1.一种装置，其特征在于，包括：

一组被配置成用于提供光的光源，所述的一组光源所提供的光被射向一个检测位置，所述的检测位置相当于检测中的表面，所述表面至少在第一方向和第二方向上反射所述光；

一第一反光镜组被安置并配置成用于接收由所述表面在第一方向上所反射的光并将所接收的光沿着第一反射光传播路径射出；

一第二反光镜组被置和配置成用于接收由所述表面在第二方向上所反射的光并将所接收的光沿着第二反射光传播路径射出；以及

一图像采集设备+被配置成同步接收沿着第一和第二光传播路径传播的光以分别提供一第一反应和一第二反应。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的细线光源组包括一组提供细线光的细线光源。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源组被配置成提供以一单一入射角射向所述表面的光。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源组被配置成提供以多个入射角射向所述表面的光。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的光源组包括：

第一光源被配置成提供一第一束光；以及

第二光源被配置成提供第二束光，所述第一和第二束光以不同的入射角入射到所述表面。

6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，由图像采集设备对沿着第一和第二反射光传播路径的细线光所进行的接收有助于反应的采集，所述的反应包括与所述表面的三维特性相关联的信息。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一和第二方向至少一部分取决于所述表面的三维特性。

8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述表面是一个半导体晶圆的表面，由所述半导体晶圆的所述表面在第一和第二方向上而进行的细线光的反射取决于所述半导体晶圆的表面布局。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，由所述半导体晶圆的所述表面而进行的光的反射和图像采集设备对反射光的接收是在所述半导体晶圆处于运动的状态下发生的。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括一处理单元与所述图像采集设备相连接以接收来自图像采集设备的第一和第二反应，所述处理单元被配置成处理所述第一和第二反应以确定与所述表面的三维特性相关联的信息。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述处理单元被配置成处理所述第一和第二反应来产生一合成反应，以便有助于所述表面上的缺陷的检测。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，通过图像采集设备对沿着所述第一和第二反射光传播路径传播的光所进行的同步接收至少有助于增强所述表面的图像采集的明亮度，对比度，以及较高的准确性中的一个。

13.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一反光镜组包括若干反射面，所述的反射面被安置并配置成接收光并将所接收的光沿着第一光反射路径射出，以及第二反光镜组包括若干反射面，所述的反射面被安置并配置成接收光并将所接收的光沿着第二光反射路径射出。

14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述第一和第二反光镜组中至少一组包括一棱镜。

15.如权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括一物镜组件置于所述反光镜组和所述图像采集设备之间，所述物镜组件被配置成接收和校正沿着第一和第二反射光传播路径传播的光。

16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，进一步包括一管透镜设置在所述物镜组件和所述图像采集设备之间，所述管透镜被配置成将校正的光聚集在所述图像采集设备的一图像采集平面上。

17.如权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括一稳定的机械结构被配置成用于减少所述图像设备所接收的振动。