[发明专利]抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂

摘要

本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的新型化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q¹是2价连接基团或单键；Y¹是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO₂-键。M⁺是碱金属离子。A⁺是有机阳离子。)

主权项

1.一种方法，其是制造下述通式(b1-1)表示的化合物的方法，包括使下述通式(I)表示的化合物(I)与下述通式(II)表示的化合物(Ii)反应的步骤，A⁺Z^-…(II)式中，Q¹是2价连接基团或单键；Y¹是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO₂-键；A⁺是有机阳离子；M⁺是碱金属离子；Z^-是低亲核性的卤离子、能成为酸性低于化合物(I)的酸的离子、BF₄^-、AsF₆^-、SbF₆^-、PF₆^-或ClO₄^-。