[发明专利]用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统

摘要

本发明公开了一种用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件，其中所述束流传输装置还包括一个或多个遮挡部件，所述遮挡部件用于遮挡部分所述束流出射装置发射的束流，并于所述束流相对于所述目标工件的扫描方向在所述目标工件所在平面内的垂直方向上，使得所述束流的密度分布均匀。本发明的用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统通过采用遮挡部件来调节离子束流，因而简化了束流调节机制，所以在满足太阳能晶片的离子注入精度的同时，大大地简化了离子注入设备，所以降低了生产成本，避免了不必要的资源浪费。

主权项

一种用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件，其特征在于，所述束流传输装置还包括一个或多个遮挡部件，所述遮挡部件用于遮挡部分所述束流出射装置发射的束流，并于所述束流相对于所述目标工件的扫描方向在所述目标工件所在平面内的垂直方向上，使得所述束流的密度分布均匀。