[发明专利]用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统

权利要求书

1.一种用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件，其特征在于，所述束流传输装置还包括一个或多个遮挡部件，所述遮挡部件用于遮挡部分所述束流出射装置发射的束流，并于所述束流相对于所述目标工件的扫描方向在所述目标工件所在平面内的垂直方向上，使得所述束流的密度分布均匀。

2.如权利要求1所述的用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其特征在于，所述用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统还包括一遮挡控制装置，其中所述遮挡控制装置用于调节所述遮挡部件遮挡的所述束流的部分的离子的总量与所述束流的离子的总量的比例。

3.如权利要求2所述的用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其特征在于，所述束流出射装置发射的束流为一带状束流。

4.如权利要求3所述的用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其特征在于，所述遮挡控制装置还用于沿所述带状束流的长度和/或宽度方向移动所述遮挡部件。

5.如权利要求1至4中任一项所述的用于太阳能晶片掺杂的束流传输系统，其特征在于，所述遮挡部件为石墨板。