[发明专利]一种用于发热体的钨管的制备方法无效
| 申请号： | 201110178378.7 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102242347A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 谭成文;于晓东;马红磊;吕延伟;王富耻 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/14 | 分类号： | C23C16/14;C23C16/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于发热体的钨管的制备方法，属于难熔金属特种加工技术领域。将紫铜基体放入到沉积炉中，然后将紫铜基体加热至500～600℃；将WF6和H2的混合气体加入到沉积炉中，WF6和H2在紫铜基体表面及附近发生反应，生成W和HF，W沉积在紫铜基体表面；反应完成后，停止加热，然后关闭WF6，继续通入H2至300℃以下改通保护性气体冷却至室温，然后取出表面附着有钨的紫铜基体，用化学方法将紫铜基体腐蚀掉即获得钨管。本发明的方法中钨的沉积速率高、重复性好、操作简单；所制备的钨管纯度高、致密性好、薄壁管壁厚均匀、表面质量优异；2000℃条件下加热，发热体寿命可达3000h以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 发热 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于发热体的钨管的制备方法，其特征在于具体步骤为：1)将紫铜基体放入到沉积炉中，然后将紫铜基体加热至500～600℃；2)将WF6和H2的混合气体通入到沉积炉中，WF6和H2在紫铜基体表面及附近发生反应，生成W和HF，W沉积在紫铜基体表面，生成的HF和未反应的气体排出反应室；3)反应完成后，停止加热，然后关闭WF6，继续通入H2至300℃以下改通保护性气体冷却至室温，然后取出表面附着有钨的紫铜基体，用化学方法将紫铜基体腐蚀掉即获得钨管。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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