[发明专利]一种微发电机及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110164362.0 申请日: 2011-06-17
公开(公告)号: CN102290968A 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 张锦文;杨兆辉;王靖 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H02K57/00 分类号: H02K57/00;B81C1/00;B81C3/00
代理公司: 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 代理人: 余长江
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种微发电机,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;设置在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽;所述驻极体结构包括:一衬底;设置在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条;设置在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽;收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置,微型球放置在相对的深槽中,驻极体条与电极条相互平行。本发明以微型球作为轴承支撑,可以通过槽深或槽宽来控制金属电极与驻极体之间的间距,有利于提高微型发电机的输出功率。
搜索关键词: 一种 发电机 及其 制备 方法
【主权项】:
一种微发电机,其特征在于,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;制备在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;制备在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽;所述驻极体结构包括:一衬底;制备在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条;制备在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽;收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置,微型球放置在相对的深槽中,驻极体条与电极条相互平行。
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