[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法和显示元件有效
申请号: | 201110159770.7 | 申请日: | 2011-06-08 |
公开(公告)号: | CN102364397A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 米田英司;西信弘;儿玉诚一郎;猪俣克巳 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法和显示元件。该放射线敏感性树脂组合物兼具保存稳定性和低温焙烧的优点,且具有足够的分辨率和放射线敏感度,该固化膜作为固化膜的要求特性的耐热性、耐光性、耐试剂性、平坦性、电压保持率等优异。该放射线敏感性树脂组合物含有[A]具有环氧基的化合物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂和[D]由下式(1)和式(2)表示的化合物构成的群组中选出的至少一种。 |
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搜索关键词: | 放射线 敏感性 树脂 组合 固化 形成 方法 显示 元件 | ||
【主权项】:
1.一种放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]具有环氧基的化合物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂,和[D]由下式(1)和式(2)表示的化合物构成的群组中选出的至少一种,
在式(1)中,R1~R6各自独立地为氢原子、吸电子性基团或氨基,其中,R1~R6中的至少一个是吸电子性基团,R1~R6中的至少一个是氨基,上述氨基的全部或部分氢原子可以用碳原子数为1~6的烷基取代,在式(2)中,R7~R16各自独立地为氢原子、吸电子性基团或氨基,其中,R7~R16中的至少一个是氨基,上述氨基的全部或部分氢原子可以用碳原子数为2~6的烷基取代,A为单键、羰基、羰基氧基、羰基亚甲基、亚磺酰基、磺酰基、亚甲基或碳原子数为2~6的亚烷基,其中,上述亚甲基和亚烷基可以用氰基、卤素原子或氟代烷基取代。
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