[发明专利]埋置有源元件的树脂基板及其制备方法无效
申请号: | 201110135530.3 | 申请日: | 2011-05-24 |
公开(公告)号: | CN102800596A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 张霞;万里兮;陈峰;郭学平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L23/31;H01L23/367 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种埋置有源元件树脂基板的制备方法。该制备方法包括:在承载板上加工贯穿承载板的散热孔,并进行散射孔的金属化,散射孔的位置对应于欲埋置有源元件的位置;在有源元件的被动面涂覆界面散热材料,将有源元件粘附于带有散热孔的承载板上,有源元件的被动面朝向承载板;在承载板上有源元件所在的一侧涂覆液态的能量固化型树脂,将有源元件埋入其中;固化能量固化型树脂。本发明采用液态的能量固化型树脂将有源元件埋置到树脂层中,并且在承载板上添加散热孔和散热片以及热沉甚至风扇,有效地解决了埋入有源元件的散热问题,不但简化了工艺,而且高效地完成了有源元件的埋置。 | ||
搜索关键词: | 有源 元件 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种埋置有源元件树脂基板的制备方法,其特征在于,该制备方法包括:在承载板上加工贯穿所述承载板的散热孔,并进行所述散射孔的金属化,所述散射孔的位置对应于欲埋置有源元件的位置;在有源元件的被动面涂覆界面散热材料,将所述有源元件粘附于带有所述散热孔的承载板上,所述有源元件的被动面朝向所述承载板;在承载板上所述有源元件所在的一侧涂覆液态的能量固化型树脂,将所述有源元件埋入其中;固化所述能量固化型树脂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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