[发明专利]埋置有源元件的树脂基板及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201110135530.3 申请日: 2011-05-24
公开(公告)号: CN102800596A 公开(公告)日: 2012-11-28
发明(设计)人: 张霞;万里兮;陈峰;郭学平 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/56;H01L23/31;H01L23/367
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种埋置有源元件树脂基板的制备方法。该制备方法包括:在承载板上加工贯穿承载板的散热孔,并进行散射孔的金属化,散射孔的位置对应于欲埋置有源元件的位置;在有源元件的被动面涂覆界面散热材料,将有源元件粘附于带有散热孔的承载板上,有源元件的被动面朝向承载板;在承载板上有源元件所在的一侧涂覆液态的能量固化型树脂,将有源元件埋入其中;固化能量固化型树脂。本发明采用液态的能量固化型树脂将有源元件埋置到树脂层中,并且在承载板上添加散热孔和散热片以及热沉甚至风扇,有效地解决了埋入有源元件的散热问题,不但简化了工艺,而且高效地完成了有源元件的埋置。
搜索关键词: 有源 元件 树脂 及其 制备 方法
【主权项】:
一种埋置有源元件树脂基板的制备方法,其特征在于,该制备方法包括:在承载板上加工贯穿所述承载板的散热孔,并进行所述散射孔的金属化,所述散射孔的位置对应于欲埋置有源元件的位置;在有源元件的被动面涂覆界面散热材料,将所述有源元件粘附于带有所述散热孔的承载板上,所述有源元件的被动面朝向所述承载板;在承载板上所述有源元件所在的一侧涂覆液态的能量固化型树脂,将所述有源元件埋入其中;固化所述能量固化型树脂。
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