[发明专利]图像显示装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201110104600.9 申请日: 2011-04-22
公开(公告)号: CN102237412A 公开(公告)日: 2011-11-09
发明(设计)人: 丰田善章 申请(专利权)人: 株式会社日立显示器;松下液晶显示器株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/423;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/32
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 曾贤伟;曹鑫
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种能在减小薄膜晶体管的光漏电流的同时提高像素的开口率的图像显示装置。在基板上具有多个薄膜晶体管的图像显示装置,其中,具有:在所述基板上形成的多条栅极线;以及与所述栅极线交叉的多条漏极线,所述薄膜晶体管是底栅型,与沟道区域重叠的区域具有从所述基板侧顺次层叠栅电极、栅极绝缘膜、半导体层的层叠构造,具有在所述沟道区域的沟道宽度方向上在所述栅电极的两端侧形成的、被除去了该栅极绝缘膜的一对除去区域,在将所述沟道区域中的沟道宽度方向的所述栅电极的宽度设为W,并将被所述一对除去区域所夹的、所述沟道宽度方向的所述栅极绝缘膜的宽度设为R时,满足R≥W。
搜索关键词: 图像 显示装置 及其 制造 方法
【主权项】:
一种在基板上具有多个薄膜晶体管的图像显示装置,其特征在于,具有:在所述基板上形成的多条栅极线;以及与所述栅极线交叉的多条漏极线,所述薄膜晶体管是底栅型,与沟道区域重叠的区域具有从所述基板侧顺次层叠了栅电极、栅极绝缘膜、半导体层的层叠构造,具有在所述沟道区域的沟道宽度方向上且在所述栅电极的两端侧形成的被除去了该栅极绝缘膜的一对除去区域,在将所述沟道区域中的沟道宽度方向的所述栅电极的宽度设为W,并将被所述一对除去区域所夹的、所述沟道宽度方向的所述栅极绝缘膜的宽度设为R时,满足R≥W。
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