[发明专利]用于探测半导体晶片的可置换探针装置

摘要

提供了一种用于探测将由测试设备测试的半导体晶片上的器件的探针装置。该探针装置包括可拆卸地安装到底板的探测位置中的可置换探针片。探针片被构造成自包含的组件，它包括含有用于探测晶片上的器件的多个探针的底架体、用于支撑探针的介电块以及用于将多个电缆从测试设备引导到底架体的导线导向器。还提供了具有可置换的底板和可置换的探针片的晶片台。

主权项

一种探针片板，所述探针片板容纳至少一个探针片，用于探测将由测试设备测试的半导体晶片上的器件，所述探针片板包括：至少一个探针插槽，用于容纳所述至少一个探针片；以及导向机构，所述导向机构被构造成用来调节所述探针片板的倾斜角度，以使所述探针片与所要测试的所述半导体晶片对准。