[发明专利]一种多晶硅还原炉及其操作方法无效
| 申请号： | 201110096947.3 | 申请日： | 2011-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN102134074A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘春江;赵丹;李雪;段长春;袁希钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅还原炉及其操作方法，在还原炉的顶部和底座均设置有物料的进口和出口，进口和出口为均布的25～32管口式结构，在这种结构中多晶硅还原炉上的各个进、出口管与对应的进、出料子流股是通过相通的环管连接起来的。对于进口，原料首先经过进料子流股管道进入到各个联通的环管中，然后通过各个进气管，进入多晶硅还原炉发生反应；对于出口，尾气通过各个出气管收集到对应的联通的环管内，最后汇集经出料子流股管道流出该还原工段。这种新型的多晶硅还原炉以及周期性切换多晶硅还原炉进出口的操作工艺，可以有效的减小现存技术制造的多晶硅还原炉内存在的明显的温度梯度；避免了“倒棒”现象的发生，并有利于产品的后处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉，其特征是在还原炉的顶部和底座均设置有物料的进口和出口，进口和出口为均匀分布的25～32管口式结构，在这种结构中多晶硅还原炉上的各个进、出口管与对应的进、出料子流股是通过相通的环管连接起来的。对于进口，原料首先经过进料子流股管道进入到各个联通的环管中，然后通过各个进气管，进入多晶硅还原炉发生反应；对于出口，尾气通过各个出气管收集到对应的联通的环管内，最后汇集经出料子流股管道流出该还原工段。
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