[发明专利]多腔体薄膜沉积装置及其抽气模块

摘要

本发明涉及一种多腔体薄膜沉积装置及其抽气模块，所述抽气模块主要包含一汇流腔体与多个抽气管。汇流腔体的上部截面积大于汇流腔体的下部截面积。每一个抽气管的一端连接一反应腔体，另一端连接汇流腔体上部的一入口。藉此，抽气模块操作时可以产生一漩涡式的流场，以便于提供每一个反应腔体强度相似的抽气能力。

主权项

一种适用于多腔体薄膜沉积装置的抽气模块，包含：一汇流腔体，且该汇流腔体的上部截面积大于该汇流腔体的下部截面积；以及多个抽气管，连接于所述汇流腔体，其中每一个该抽气管的一端连接所述多腔体薄膜沉积装置的一反应腔体，另一端连接所述汇流腔体的上部的一入口；藉此，所述抽气模块操作时在所述汇流腔体内产生一漩涡式的流场，以便于提供每一个反应腔体强度相似的抽气能力。