[发明专利]多腔体薄膜沉积装置及其抽气模块

权利要求书

1.一种适用于多腔体薄膜沉积装置的抽气模块，包含：

一汇流腔体，且该汇流腔体的上部截面积大于该汇流腔体的下部截面积；以及

多个抽气管，连接于所述汇流腔体，其中每一个该抽气管的一端连接所述多腔体薄膜沉积装置的一反应腔体，另一端连接所述汇流腔体的上部的一入口；藉此，所述抽气模块操作时在所述汇流腔体内产生一漩涡式的流场，以便于提供每一个反应腔体强度相似的抽气能力。

2.如权利要求1的抽气模块，其中所述汇流腔体的俯视形状近似一圆形，且每一个所述抽气管的另一端以切线方向连接所述汇流腔体上部的一入口。

3.如权利要求1的抽气模块，其中所述汇流腔体为一体成形或是多部件组合而成。

4.如权利要求3的抽气模块，其中所述汇流腔体为一体成形，且所述汇流腔体具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面。

5.如权利要求3的抽气模块，其中所述汇流腔体是藉由一顶部组件与一底部组件组合而成。

6.如权利要求5的抽气模块，其中所述顶部组件具有圆柱状弧面，所述底部组件具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面。

7.如权利要求5的抽气模块，其中所述顶部组件具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面，所述底部组件具有圆柱状弧面。

8.如权利要求1的抽气模块，其中所述汇流腔体的下部包含一出口，所述出口连接一排气管。

9.如权利要求1的抽气模块，所述多腔体薄膜沉积装置是一种用于有机金属化学气相沉积的薄膜沉积装置。

10.一种多腔体薄膜沉积装置，包含：

多个反应腔体，其中每一个反应腔体包含一晶圆载具以及一驱动模块，该晶圆载具用于承载多个晶圆，该驱动模块用于驱动该晶圆载具；

一进气管线，对每一个反应腔体提供薄膜沉积所需的气体；

一抽气模块，包含：

一汇流腔体，且该汇流腔体的上部截面积大于该汇流腔体的下部截面积；以及

多个抽气管，连接于所述汇流腔体，其中每一个该抽气管的一端连接一个所述反应腔体，另一端连接所述汇流腔体的上部的一入口；藉此，所述抽气模块操作时在所述汇流腔体内产生一漩涡式的流场，以便于提供每一个反应腔体强度相似的抽气能力。

11.如权利要求10的多腔体薄膜沉积装置，其中所述汇流腔体的俯视形状近似一圆形，且每一个所述抽气管的另一端以切线方向连接所述汇流腔体上部的一入口。

12.如权利要求10的多腔体薄膜沉积装置，其中所述汇流腔体是一体成形或是多部件组合而成。

13.如权利要求12的多腔体薄膜沉积装置，其中所述汇流腔体是一体成形，且所述汇流腔体具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面。

14.如权利要求12的多腔体薄膜沉积装置，其中所述汇流腔体是藉由一顶部组件与一底部组件组合而成。

15.如权利要求14的多腔体薄膜沉积装置，其中所述顶部组件具有圆柱状弧面，所述底部组件具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面。

16.如权利要求14的多腔体薄膜沉积装置，其中所述顶部组件具有碗状弧面或是倒置圆锥弧面，所述底部组件具有圆柱状弧面。

17.如权利要求10的多腔体薄膜沉积装置，其中所述汇流腔体的下部包含一出口，该出口连接一排气管。