[发明专利]连续扩散处理装置无效
| 申请号： | 201110022082.6 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102337594A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 服部昌;森川清彦 | 申请（专利权）人： | 光洋热系统株式会社 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;H01L21/22;H01L21/38 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种连续扩散处理装置，能降低能量损耗，并能兼顾提高生产效率和提高处理质量。本发明的连续扩散处理装置包括：输送台(50)，输送板状的被处理件；筒形的加热炉(1)，呈直线状延伸；输送装置(2)，通过把输送台(50)一个一个地推入加热炉(1)内来输送输送台，使以前送入到加热炉(1)内的输送台(50)呈列状地在加热炉(1)内移动；多个第一隔壁构件(7)，将从加热炉(1)内的送入口(11)到送出口(12)之间划分为多个处理区。输送装置(2)使输送台(50)以处理区为单位间歇移动。输送台(50)具备第二隔壁构件(54)，它封闭第一隔壁构件(7)的开口(7c)，并把相邻的处理区之间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 扩散 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种连续扩散处理装置，其特征在于，对板状的被处理件进行扩散处理，所述连续扩散处理装置包括：输送台，装载并输送多个所述被处理件；筒形的加热炉，从送入所述输送台的送入口到送出所述输送台的送出口呈直线状延伸，并且在内部进行扩散处理；移动装置，通过把所述输送台一个一个地从所述送入口推入所述加热炉内来输送所述输送台，利用送入的所述输送台把以前送入到所述加热炉内的输送台推向所述送出口一侧，使多个所述输送台呈列状地在所述加热炉内移动；以及多个第一隔壁构件，设在所述加热炉内，并且形成有所述输送台能通过的开口，将从所述送入口到所述送出口之间划分为多个处理区，该多个处理区的尺寸被设定成与所述输送台的沿移动方向的长度尺寸大体相同，所述移动装置通过把所述输送台一个一个地推入所述加热炉内，使呈列状排列的各输送台以所述处理区为单位间歇移动，所述输送台在输送方向上的至少一端一侧具备第二隔壁构件，该第二隔壁构件在所述输送台在所述处理区静止时封闭所述多个第一隔壁构件的所述开口，并把相邻的处理区之间隔开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光洋热系统株式会社，未经光洋热系统株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110022082.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种婴儿用可报警的垫片
- 下一篇：一种传动螺杆式窗帘传动架
- 同类专利
- 扩散炉管及扩散炉-201821763301.X
- 王诗涛 - 珠海格力电器股份有限公司
- 2018-10-29 - 2019-07-02 - C30B31/10
- 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开一种扩散炉管及扩散炉，扩散炉管包括：炉管本体，内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室，工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区；至少一部分位于工艺腔室内的气体输送部件，用于将扩散气体输送至炉管本体内；气体输送部件位于工艺腔室内的部分包括预热段和排气段，排气段上设有至少一个排气孔组，每一个排气孔组包括至少一个排气孔。上述扩散炉管可以用于缓解或消除炉管进气口处的气流紊乱现象。
- 一种大直径石英炉管-201821737718.9
- 陈文 - 苏州安融石英有限公司
- 2018-10-25 - 2019-06-04 - C30B31/10
- 本实用新型涉及一种大直径石英炉管，包括石英管主体，石英管主体为一端开口、一端封闭的腔体状结构，所述石英管主体采用透明石英料制成，石英管主体的开口端与一乳白石英料制成的第一环状石英管焊接固定，所述环状石英管的外侧再与一透明石英料制成的第二环状石英管焊接固定。本实用新型解决了石英炉管堵头（炉门端）的强度低的问题，提高了石英炉管近炉门端的耐热性能，同时提高石英炉管的整体密封效果。
- 炉管设备-201821196039.5
- 陈城;周冬成;吴宗祐;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
- 2018-07-26 - 2019-05-24 - C30B31/10
- 本实用新型提供一种炉管设备，包括反应炉体、炉门盖和颗粒收集装置，所述反应炉体一端封闭，另一端具有开口；所述炉门盖位于所述反应炉体的所述开口处，且和所述反应炉体活动连接；所述颗粒收集装置位于所述炉门盖上，且连接至一真空泵，所述颗粒收集装置包括若干个开口朝上的颗粒收集口。本实用新型的炉管设备，通过在炉门盖上增加颗粒收集装置，能够避免在炉门盖开启和关闭的过程中，因炉门盖上的颗粒物在气流作用下掉落至晶圆上造成的颗粒污染。本实用新型结构简单，使用方便，能有效提高生产良率。
- 一种均流装置及扩散炉-201821582566.X
- 严健;费正洪;杨均炎;王言芬 - 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
- 2018-09-27 - 2019-05-14 - C30B31/10
- 本实用新型属于电池片制备技术领域，公开了一种均流装置及扩散炉。其中，均流装置包括壳体和分流板，壳体上设置有漏斗形的通孔，分流板卡装于通孔内，分流板上均布开设有分流孔。其中，扩散炉包括上述均流装置。本实用新型中，壳体和分流板的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔的小孔径端流入，经分流板均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。
- 改良型太阳能电池片扩散炉-201821119525.7
- 贡江涛;符亮;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 - 常州亿晶光电科技有限公司
- 2018-07-13 - 2019-03-01 - C30B31/10
- 本实用新型涉及太阳能电池扩散技术领域，尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉，将硅片槽倾斜设置后，硅片能够倾斜设置在炉管内，炉尾端的进气口放在炉尾端的上部，抽气口仍然放在炉的下部，硅片沿气流方向倾斜，优化扩散炉管内气场氛围，提高了携源氮气与硅片中间区域的接触，减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值，改善扩散方阻的片内均匀性。
- 一种低压扩散炉炉门密封装置-201610660200.9
- 杨宝立;张勇 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
- 2016-08-12 - 2019-02-19 - C30B31/10
- 本发明公开了一种低压扩散炉炉门密封装置，包括：由前至后依次排列且同轴设置的炉门、固定轴及固定座，炉门的后端面中心固定有轴承座，轴承座内设有向心关节轴承，向心关节轴承的外圈固定在轴承座内，向心关节轴承的内圈固定套在固定轴的前端，固定轴的后端固定在固定座内，固定座的前端面还固定有支撑板，支撑板上设有间隔设有多个弹簧调整组件。本发明具有自动校正功能，能更好的满足低压扩散炉反应腔的密封要求。
- 扩散炉管及扩散炉-201811265969.6
- 王诗涛 - 珠海格力电器股份有限公司
- 2018-10-29 - 2019-01-01 - C30B31/10
- 本发明涉及半导体制造设备技术领域，公开一种扩散炉管及扩散炉，扩散炉管包括：炉管本体，内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室，工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区；至少一部分位于工艺腔室内的气体输送部件，用于将扩散气体输送至炉管本体内；气体输送部件位于工艺腔室内的部分包括预热段和排气段，排气段上设有至少一个排气孔组，每一个排气孔组包括至少一个排气孔。上述扩散炉管可以用于缓解或消除炉管进气口处的气流紊乱现象。
- 一种高温扩散炉体-201811112530.X
- 薛慧敏;胡新军;梁晶晶 - 胡新军
- 2018-09-25 - 2018-12-18 - C30B31/10
- 本发明公开了一种高温扩散炉体，炉体包括炉管和保温层，炉管安装在保温层内，炉管端部设置炉盖，炉管尾部设有进气口和排气口，进气口处安装进气法兰，进气法兰上安装进气管，排气口安装排气法兰，排气法兰上安装排气管，炉管内部安装由匀气组件，本发明结构设计新颖，保温效果好，而且炉管内部能够实现均匀进气和排气，提高了扩散效果，进一步提高了硅片的扩散质量。
- 一种方便检测松动的低压扩散炉门-201820433533.2
- 吕飞 - 通威太阳能（成都）有限公司
- 2018-03-28 - 2018-11-09 - C30B31/10
- 本实用新型公开一种方便检测松动的低压扩散炉门，涉及PN结制备工艺中低压扩散炉领域，包括炉门本体、连接拖杆、连接块和开关门活动杆，所述连接拖杆的中央沿轴线方向设有通孔一，所述连接块设有用于与连接拖杆连接的通孔二，通孔一和通孔二采用长螺钉连接；长螺钉的头部位于盲孔内部，长螺钉的螺纹杆的长度数值大于连接拖杆的长度数值与连接块的高度数值之和，螺纹杆位于连接块外部的一端连接有螺母。本实用新型解决了炉门长期的开关门，很容易使得连接块与连接拖杆之间发生松动，从而使得开关门活动杆对炉门的开关门控制不灵活、不精确，使得炉门容易发生松动，导致炉门密封性差、位置容易发生偏差撞碎炉管的问题。
- 一种立式太阳能硅片扩散炉-201610992437.7
- 高鹏;刘阳;徐晋勇;唐焱;张斌;孙宁;陈金龙;高成;刘栋;黄伟 - 桂林电子科技大学
- 2016-11-11 - 2018-10-30 - C30B31/10
- 本发明公开一种立式太阳能硅片扩散炉，属于太阳能电池生产技术领域。包括立式炉体、炉门、石英舟组、进气装置和废气排放装置，石英舟组由石英舟依次竖直叠放而成，石英舟中间设有垂直贯通的导孔，在石英舟上以该导孔中心轴线为中心呈放射性均匀设有用于放置硅片的舟槽；进气装置包括进气螺旋管和气体混合装置，进气螺旋管设置在石英舟组与炉体腔壁之间，进气螺旋管朝向石英舟组一侧均布有进气孔；进气螺旋管连接气体混合装置；废气排放装置包括排气管和废气储蓄装置，排气管沿炉体炉腔中心轴线竖直设置，并对应设置在石英舟的导孔中；排气管上均布有排气口，其底部连接废气储蓄装置。本发明能够有效提高扩散均匀性，同时提高单炉产量。
- 改良型太阳能电池片扩散炉-201810770309.7
- 贡江涛;符亮;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 - 常州亿晶光电科技有限公司
- 2018-07-13 - 2018-09-21 - C30B31/10
- 本发明涉及太阳能电池扩散技术领域，尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉，将硅片槽倾斜设置后，硅片能够倾斜设置在炉管内，炉尾端的进气口放在炉尾端的上部，抽气口仍然放在炉的下部，硅片沿气流方向倾斜，优化扩散炉管内气场氛围，提高了携源氮气与硅片中间区域的接触，减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值，改善扩散方阻的片内均匀性。
- 一种硅片母合金的制备方法-201410181197.3
- 吕学谦;银波;范协诚;郭增昌;刘乐通;孟华 - 新特能源股份有限公司
- 2014-04-30 - 2018-02-23 - C30B31/10
- 本发明公开了一种硅片母合金的制备方法，该方法为将氯硅烷与第IIIA族元素的三氯化物、第IIIA族元素的氢化物、第VA族元素的三氯化物、第VA族元素氢化物中的一种在还原炉或外延生长炉内，通过氢气进行还原反应制得硅片母合金，其中，第IIIA族元素为硼或铝，第VA族元素为磷或砷。上述方法中的整个反应系统为密闭的系统，且反应原料不需要使用单质硅，避免了传统技术中需要将单质硅加热至熔融，并避免了熔融的硅与石英坩埚大的接触面积，避免了锑在硅里的固溶度较低，且避免了反应原料与空气的接触，减少了产品的缺陷。由于原料未使用单质硅，所以避免了多晶硅生长、拆炉、破碎、包装、转运、装填过程中引入杂质到硅片母合金中。
- 一种提高太阳能电池扩散炉碳化硅桨抗疲劳强度的方法-201510555746.3
- 张伟娜;陈犹郎 - 光昱（厦门）新能源有限公司
- 2015-09-02 - 2017-10-31 - C30B31/10
- 本发明公开了一种提高太阳能电池扩散炉碳化硅桨抗疲劳强度的方法，包括如下步骤1）采用碳化硅砂纸，将已成型的碳化硅桨表面进行打磨处理，纯水洗净烘干；2）将抛光后的碳化硅桨放入炉膛，温度升至1500℃‑1800℃，充氮气，进行渗氮处理；3）将渗氮后的碳化硅桨经退火,退火温度为900‑1000℃,后缓慢冷却至室温；4）将渗氮后的碳化硅桨放入炉膛，充氨气和硅烷，进行氮化硅镀膜，膜厚为8‑15微米，温度400‑450摄氏度；5）缓慢冷却至室温。本发明可以提高碳化硅桨的使用寿命。
- 一种扩散炉-201621076101.8
- 曹铭;衡阳;王鹏飞;张春华;徐义胜;郑旭然;邢国强 - 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
- 2016-09-23 - 2017-07-04 - C30B31/10
- 本实用新型提供了一种扩散炉，包括炉体，炉体内设置有用于装载硅片的石英舟，石英舟的正上方设置有喷淋管，喷淋管的底部设置有相互平行的至少三组并排设置的喷淋孔，同一组的喷淋孔的形状和大小相同，喷淋孔包括位于外侧的两组第一喷淋孔和位于内侧的至少一组第二喷淋孔，第二喷淋孔的面积小于第一喷淋孔的面积，第二喷淋孔的位置与石英舟的中部相对应。由于第二喷淋孔设置在喷淋管的内侧的区域，与石英舟的中部区域很接近，可以有效地提高位于硅片中部位置的POCl3的浓度，且第二喷淋孔的面积小于第一喷淋孔的面积，可以避免硅片中部位置的POCl3的浓度过高，利于保持与硅片边缘的POCl3的适度浓度差，提高硅片的表面的方块电阻的均匀性和性能。
- 一种立式扩散炉的安全防护装置-201510893468.2
- 贺志军 - 上海广奕电子科技股份有限公司
- 2015-11-27 - 2016-09-14 - C30B31/10
- 本发明公开了一种立式扩散炉的安全防护装置，属于机械设计领域，立式扩散炉包括沿Z轴运动的传输机构、刹车机构和控制器，所述安全防护装置包括传感器，所述传感器设于所述传输机构的下部，所述传感器与所述控制器相连，所述控制器根据所述传感器感应的信号控制所述刹车机构刹住所述传输机构。本发明的技术方案结构简单、安全可靠，能够方便的保护操作者的人身安全。
- 扩散用高温炉-201610480202.X
- 吕耀安 - 无锡宏纳科技有限公司
- 2016-06-27 - 2016-08-24 - C30B31/10
- 本发明公开了一种扩散用高温炉，包括底座和石英管炉腔；石英管炉腔安装于底座之上；石英管炉腔为竖直柱状，其顶部设置有两个开口；石英管炉腔内设置有热电偶测量装置，热电偶测量传输线路通过第一开口传输至位于石英管炉腔外部的温度控制器；还包括多个加热器和多组热阻丝；多个加热器均与温度控制器相连接；每个加热器上对应连接有一组热阻丝；每组热阻丝螺旋状缠绕在石英管炉腔之外；相邻的热阻丝间隔距离相等；工艺气体通过气流控制器，进而通过第二开口输入石英管炉腔；底座上设置有气体出口；气体出口处安装有压力控制器。本发明在石英管炉腔外间隔均匀的设置有多组热阻丝，所以可以达到对石英管炉腔进行均匀加热的效果。
- 一种负压扩散炉用石英管-201520730986.8
- 杨宝立;常红旺;张勇 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
- 2015-09-21 - 2016-02-17 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种负压扩散炉用石英管，包括上端的石英管尾部、中间带有空腔的管体和下端的石英管口部，石英管尾部设有进气管和出气管，石英管尾部和口部均通过法兰固定在扩散炉的主体机架上从而避免了石英管在设备使用过程中发生位移的问题。此外，本实用新型石英管口设有环状空腔用于隔热，采用外凸的曲面结构增强耐压能力。本实用新型结构简单，密封性良好、耐高压并且因与扩散炉固定良好，使用寿命大大提高。
- 一种晶圆扩散用石英管及其进气连接结构-201420769305.4
- 汪良恩;张小明;安启跃 - 安徽安芯电子科技有限公司
- 2014-12-08 - 2015-04-22 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种晶圆扩散用石英管，将石英管尾管端部烧制一段外径较进气管内径略大的细管，具有以下优点：1)取消炉管的球磨接头，直接在管尾上烧制一段连接进气管的小管，降低了石英管管尾加工难度，由传统石英管的三个部件改变为一个部件，石英管的制作成本大大降低。2)直接将进气管连接在炉管上，彻底改善了传统的晶圆扩散石英管由于夹具松动、球磨接口碎裂而导致反应气体泄漏现象，使晶圆扩散工艺控制变得稳定、可靠。本实用新型实施例还提供了一种应用上述石英管的进气连接结构，可获得密封性较好的连接效果。
- 一种扩散炉用石英管-201420199376.5
- 王大江;王森彪;徐艳艳;李建忠 - 宁波芯科电力半导体有限公司
- 2014-04-22 - 2014-11-05 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种扩散炉用石英管，包括具有一个内腔的管体，管体的一端设置有多个进气口，管体的另一端设置有一个排气口，特点是内腔内设置有一块圆形通气板或多块沿管体的轴向间隔排列的圆形通气板，圆形通气板的外周壁与内腔的内周壁密封连接，圆形通气板上均匀排布有通气孔，使用时沿气流方向硅片置于圆形通气板的下游；优点是能够提高多种气体在管体内混合的径向均匀性，使得杂质源气体在接触到硅片时能够均匀弥漫在硅片上，从而提高芯片的良品率。
- 一种硅片封闭扩散用石英管-201420200398.9
- 王大江;王森彪;徐艳艳;李建忠 - 宁波芯科电力半导体有限公司
- 2014-04-22 - 2014-11-05 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种硅片封闭扩散用石英管，包括上端开口的管体，特点是还包括下端开口的帽体，帽体的上端设置有抽气口，帽体的下端的内径由上至下逐渐变大形成锥状帽沿，管体的上端端部的外径小于锥状帽沿的顶端的内径，使用时帽体扣在管体的上端，高温火焰将锥状帽沿吹焊在管体的上端端部的外壁从而形成容纳硅片和扩散源的内腔；优点是封焊用于硅片封闭扩散过程中，不仅操作简单，焊接时间较短，且封焊后不易漏气，保证硅片扩散的稳定性和参数均匀性，同时由于封焊时无缝隙，能够有效防止外在杂质进入管内，从而避免硅片受到污染。
- 一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓-201420075121.8
- 郑淑刚;李朝;张兴云 - 晶澳太阳能有限公司
- 2014-02-21 - 2014-09-17 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括圆柱形仓体（1），该仓体的其中一个圆形端面安装有用于向仓体内输入氮气和氧气的进气管（2）、用于向仓体内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体（1）内温度的热偶管（4）和用于排出仓体（1）内废气的排气管（5），进气管（2）位于圆形端面的中心位置，排气管（5）位于圆形端面的底端位置，其特征在于：喷磷管包括上喷磷管（31）和下喷磷管（32）；上喷磷管（31）位于圆形端面的顶端位置，下喷磷管（32）位于圆形端面的底端位置，热偶管（4）位于圆形端面的左端或右端位置。本实用新型能使氮气、氧气和磷源混合均匀，从而使扩散反应更为均匀，扩散效果得到提升。
- 一种扩散炉管-201320683341.4
- 郭城;吕明;纪大鹏;赵海玲;徐明星;郭英云 - 山东科芯电子有限公司
- 2013-11-01 - 2014-04-09 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种扩散炉管，包括有炉管、炉帽、观察孔等，其特征在于：在所述炉帽上还设置有尾气排放管道。本实用新型的有益效果是：直接将尾气排入抽风管道，不会对环境造成污染，改善了劳动条件，保障了工人的身体健康，提高了工作效率，结构简单实用。
- 一种扩散炉管-201310531200.5
- 郭城;吕明;纪大鹏;赵海玲;徐明星;郭英云 - 山东科芯电子有限公司
- 2013-11-01 - 2014-02-05 - C30B31/10
- 本发明公开了一种扩散炉管，包括有炉管、炉帽、观察孔等，其特征在于：在所述炉帽上还设置有尾气排放管道。本发明的有益效果是：直接将尾气排入抽风管道，不会对环境造成污染，改善了劳动条件，保障了工人的身体健康，提高了工作效率，结构简单实用。
- 扩散炉-201210075320.4
- 吴学成;方海滨;姚承锡;潘之炜 - 无锡华润华晶微电子有限公司
- 2012-03-21 - 2013-09-25 - C30B31/10
- 本发明提供一种扩散炉，其包括炉管、炉门、穿过炉门并延伸到所述炉管内的桨，其中，所述扩散炉还包括设置在所述桨上的固定组件，所述固定组件包括第一固定部、弹性件和第二固定部，所述弹性件的一端固定设置在所述第一固定部而另一端则活动设置于所述炉门中，所述第一固定部固定设置于所述桨，所述第二固定部紧挨所述第一固定部固定设置于所述桨。本发明所述的扩散炉可有效防止炉门滑动。
- 一种连续式扩散炉及其通气方法-201310163068.7
- 陆利新;郑荣豪;陈荣莲 - 上海煦康电子科技有限公司
- 2013-05-06 - 2013-07-31 - C30B31/10
- 本发明提供一种连续式扩散炉，包括：两端开口的炉体；一端开口、另一端封闭的第一进气管，第一进气管固定设置在炉体的腔内壁，第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；一端开口、另一端封闭的第二进气管，第二进气管固定设置在炉体的腔内壁，第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；排气管，固定设置在炉体腔内壁，排气管两端均开口，并向排气管两端提供有负压，排气管的管壁上开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁。本发明提供的连续式扩散炉的通气方法，实现了同一批次的硅片周围反应气体密度一致，硅片结成的PN结较为均匀，同时使用两个通气管通气，避免了通气管孔堵塞。
- 高温减压扩散炉-201220550189.8
- 吴得轶;龙辉;禹庆荣;成秋云 - 湖南红太阳光电科技有限公司
- 2012-10-25 - 2013-06-12 - C30B31/10
- 本实用新型涉及高温减压扩散炉，包括石英管，石英管的一端为石英管口并在石英管口处装石英门，而石英管的另一端与工艺气体排气管连接，所述石英管口包括同圆心的石英管内端口和置于石英管内端口外侧且半径大于石英管内端口半径的石英管外端口；所述石英门安装在石英管内端口，而石英管外端口安装不锈钢炉门，所述石英门与不锈钢炉门构成过渡腔，并在过渡腔内的石英门与不锈钢炉门之间安装缓冲固定装置；所述不锈钢门上设有向过渡腔内通入气体的吹扫气体进气口和从过渡腔内排放气体的吹扫气体排气口。本实用新型通过设置过渡密封腔，大幅减少了石英门两端的压力差和石英门的受力，简化了石英门的设计，大幅降低了石英的应力损伤。
- 一种用于太阳能电池片生产的石英炉门-201220169493.8
- 沈雪明 - 吴江市奥鸣石英玻璃仪器厂
- 2012-04-20 - 2013-05-29 - C30B31/10
- 本实用新型具体是涉及一种用于太阳能电池片生产的石英炉门。所述石英炉门包括位于上底盖表面的空心管，上底盖，与所述上底盖之间形成容置空间的下底盖，填充于容置空间内的石棉板以及上、下底盖对接所形成的焊缝加料处。本实用新型结构简单，耐高温性能好、不宜炸裂变形、使用寿命长。
- 一种具有大加热面积的铟炉结构-201220565909.8
- 单易飞;邬璐磊;陈中林;董春荣 - 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
- 2012-10-30 - 2013-04-24 - C30B31/10
- 本实用新型提供一种具有大加热面积的铟炉结构，包括：炉腔，包括一圆柱状的炉壁及一固定于该炉壁底部的炉底，所述炉壁内侧具有多个环绕该炉壁的环形凸起，且多个环形凸起之间具有预设间隔；加热线圈，环绕于所述炉壁的外侧；炉盖，固定于所述炉壁顶部，且该炉盖中部具有出气孔。本实用新型具有以下有益效果：于炉壁内侧增加了多个环形凸起，可以有效的增加炉腔的发热面积，从而增加对炉腔内铟材料的加热面积，提高加热效率。
- 一种扩散炉石英炉管-201220501756.0
- 张虎 - 中电电气（南京）光伏有限公司
- 2012-09-28 - 2013-03-20 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种扩散炉石英炉管。在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口；还设置一接液瓶，所述接液瓶为密闭容器，其顶部设有进气管和排气管；所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管，接液瓶的进气管连接一转接管。反应废气P2O5、HPO3通过石英炉管的炉口左右两侧的排气口进入接液瓶，冷凝后经转接管进入酸排管道排放掉。接液瓶和转接管非常短，反应废气P2O5、HPO3无法在管壁聚集，部分废气会以液态的形式存放在接液瓶其余则被酸排抽走。本实用新型，制备安装简单实用，延长了炉管使用周期，同时保证电池片的品质。
- 一种扩散炉石英炉管-201220501670.8
- 张虎 - 中电电气（南京）光伏有限公司
- 2012-09-28 - 2013-03-20 - C30B31/10
- 本实用新型公开了一种扩散炉石英炉管，包括由石英炉管内引出的排气管，排气管接入尾液瓶。所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管；三通与排风管道间设尾气阀门，保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。本实用新型通过在非工艺时间段内通过向排气管反吹一定量N2方案，可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失，结构简单实用，成本低廉，延长了石英炉管及排气管的使用寿命和维护周期，同时保证电池片的品质。
- 专利分类
