[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法有效
| 申请号： | 201080064710.0 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102782578A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 上田昭史;中河原秀孝;渡边和夫;渡边茂辉;篮伟仁;林昭文 | 申请（专利权）人： | 株式会社微处理;台湾永光化学工业股份有限公司;三菱丽阳株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性干膜以及使用该感光性树脂组合物的图案形成方法，所述感光性树脂组合物包含：具有来源于含有酚性羟基和羧基的乙烯基系单体(b)的构成单元的乙烯基系共聚物(I)、醌二叠氮化合物(II)和式(5)所示的化合物(III)。根据本发明，可以提供可以形成不易发生破裂，未曝光部的膜减少小，灵敏度、分辨率良好的抗蚀剂膜的感光性树脂组合物，感光性干膜以及使用该感光性树脂组合物的图案形成方法。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含：将包含具有酚性羟基的单体(a)和含有羧基的乙烯基系单体(b)的单体混合物进行聚合而得的乙烯基系共聚物(I)；醌二叠氮化合物(II)；以及下述式(5)所示的化合物(III)，![]()
Y为碳原子数1～6的直链或支链的烃基；l和m各自独立地为1～3的整数；n为1或2；p和q分别为0或1。
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