[发明专利]具有锥状狭缝的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构有效
| 申请号： | 201080064168.9 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102762966A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 柯正浩 | 申请（专利权）人： | 台湾超微光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/20 | 分类号： | G01J3/20;G01J3/04;G01N21/00;G01J3/36 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 狭缝 微型 光谱仪 模块 及其 结构 | ||
【主权项】：
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