[发明专利]用于在微光刻中使用的分面反射镜

摘要

本发明涉及用于在微光刻中使用的分面反射镜（6；10）。分面反射镜（6；10）具有预定用于引导EUV照明光（3）的部分光束的照明通道的多个分面（7；11）。借由包括致动器（31；35）且具有运动分量（32；dz'；dz″）的调节装置（30；34），分面（7；11）的至少一些是可垂直于分面反射平面（xy；x'y'；x″y″）移动的。这导致在分面反射镜中，与现有技术相比，可以较低的制造成本实现与目标照明规格相符的给定要求，当使用分面反射镜时，该给定要求必须被满足。

主权项

用于在微光刻中使用的分面反射镜(6；10)，包含预定用于引导照明光(3)的部分光束的照明通道的多个分面(7；11)，其中，借由调节装置(30；34；56)，所述分面(7；11)的至少一些是可移动的，所述调节装置具有致动器(31；35；46；57)，具有垂直于分面反射平面(xy；x'y'；x”y”)的运动分量(32；dz；dz'；dz”)，其中，所述调节装置(30；34；56)实现为，以在至少1mm范围内的、沿着垂直于所述分面反射平面(xy；x'y'；x”y”)的总调节距离(V)，设置所述分面(7；11)的定位；其中，所述调节装置(30；34；56)实现为，所述调节装置非常精细地影响用于分配给单独的分面(7；11)的照明通道的、在可移动的分面(7；11)的反射之后的预定方向。