[发明专利]用于在微光刻中使用的分面反射镜

权利要求书

1.用于在微光刻中使用的分面反射镜(6；10)，

包含预定用于引导照明光(3)的部分光束的照明通道的多个分面(7； 11)，

其中，借由调节装置(30；34；56)，所述分面(7；11)的至少一些是 可移动的，所述调节装置具有致动器(31；35；46；57)，具有垂直于分面 反射平面(xy；x'y'；x”y”)的运动分量(32；dz；dz'；dz”)，

其中，所述调节装置(30；34；56)实现为，以在至少1mm范围内的、 沿着垂直于所述分面反射平面(xy；x'y'；x”y”)的总调节距离(V)，设置所 述分面(7；11)的定位；

其中，所述调节装置(30；34；56)实现为，所述调节装置非常精细地 影响用于分配给单独的分面(7；11)的照明通道的、在可移动的分面(7； 11)的反射之后的预定方向。

2.如在权利要求1所述的分面反射镜，其特征在于：所述分面(7；11) 具有弯曲的反射表面(33；41)。

3.如在权利要求1或2所述的分面反射镜，其特征在于：所述调节装 置(30；34；56)实现为导致在小于25μm的范围内的、沿着所述调节距 离(V)的所述分面(7；11)的定位精度。

4.如在权利要求1至3中任一项所述的分面反射镜，其特征在于：所 述致动器(31；35；46)实现为压电致动器。

5.如在权利要求1至3中任一项所述的分面反射镜，其特征在于：所 述致动器具有主轴驱动器(57)，该主轴驱动器(57)

包含实现在分面载体(40)的横向表面壁(43)中的外螺纹(58)，

包含带螺纹的主体(59)，所述带螺纹的主体通过分面反射镜框架(45) 承载并具有与所述外螺纹(58)互补的内螺纹(60)，其中所述分面载体(40) 借由所述致动器(57)是可旋转驱动的。

6.用于照明物场(18)的用于微光刻的照明光学单元(26)，包含如在 权利要求1至5中任一项所述的至少一个分面反射镜(6；10)，其中所述照 明光学单元(26)以照明通道在所述物场(18)中叠加的方式实现。

7.如在权利要求6所述的照明光学单元，其特征在于：场分面反射镜 (6)和光瞳分面反射镜(10)二者都实现为如在权利要求1至5中任一项 所述的分面反射镜。

8.照明系统，包含如在权利要求6和7中任一项所述的照明光学单元 (26)，并包含用于将所述物场(18)成像至像场(20)中的投射光学单元 (19)。

9.投射曝光设备(1)，包含如在权利要求8所述的照明系统，并包含 光源(2)。

10.用于设定如在权利要求9所述的投射曝光设备(1)中的照明光学 单元(26)的方法，包含以下步骤：

利用借由分辨单独照明通道的贡献的测量装置(36，37)，测量具有所 述调节装置(30；43；56)的所述至少一个分面反射镜(6；10)下游的所 述照明光(3)的光路中的所述照明光(3)的实际照明强度分布；

借由所述调节装置(30；34；56)的所述致动器(31；35；46；57)， 调节至少一个分面(7；11)，直至在所述物场(18)上的实际照明强度分布 对应于在预定的公差范围内的期望的照明强度分布，

其中，所述测量装置(36，37)实现为，其进行所述照明光(3)的实 际照度分布的测量，使得可以分辨单独的照明通道的贡献；

其中，所述测量装置(36，37)在所述物场(18)的区域中具有测量单 元(36)，且在所述分面反射镜(10)的一个的区域中具有另一测量单元(37)。