[发明专利]近红外吸收膜组合物有效

专利信息
申请号: 201080036606.0 申请日: 2010-08-06
公开(公告)号: CN102482507A 公开(公告)日: 2012-05-30
发明(设计)人: W·黄;S·刘;W·李;D·L·戈德法布;L·维克利奇;M·格罗德;P·R·瓦拉纳西 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: C09B67/10 分类号: C09B67/10;C08J5/18;C08L63/00;C08K5/17;H01L21/02
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 徐国栋;林柏楠
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种可固化液体配制剂,其含有至少(i)一种或多种近红外吸收三苯胺基染料,和(ii)一种或多种浇铸溶剂。本发明还涉及由交联形式的可固化液体配制剂组成的固体近红外吸收膜。本发明还涉及一种含有固体近红外吸收膜的涂层的微电子基质以及在近红外吸收膜在微电子基质与光致抗蚀剂膜之间的情况下将涂覆在微电子基质上的光致抗蚀剂层图案化的方法。
搜索关键词: 红外 吸收 组合
【主权项】:
1.一种可固化液体配制剂,其包含:(i)一种或多种具有以下通式的近红外吸收三苯胺基染料:其中R1、R2、R3、R4、R5和R6独立地表示氢原子或含有至少一个碳原子的烃基,其中烃基任选包含一个或多个选自氮、氧、硫和卤原子的杂原子;其中一个或多个氮原子为阳离子基团,且一个或多个阳离子基团通过一个或多个阴离子而电荷平衡;和(ii)一种或多种浇铸溶剂。
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