[发明专利]垂直集成的MEMS加速度变换器有效
| 申请号： | 201080012403.8 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102356324A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 林毅桢;托德·F·米勒;朴宇泰 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/097;G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李宝泉;周亚荣 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种变换器(20)，包括被结合的传感器(28，30)，以形成垂直集成的构造。传感器(28)包括检测质量块(32)，可移动耦合至基板(36)的表面(34)并与基板(36)的表面(34)间隔开。传感器(30)包括检测质量块(58)，可移动地耦合至基板(56)的表面(60)并与基板(56)的表面(60)间隔开。基板(36，56)与面对基板(36)的表面(34)的基板(56)的表面(60)耦合。因此，检测质量块(58)面对检测质量块(32)。独立地制造传感器(28，30)且可以利用不同微机械加工技术来形成。传感器(28，30)利用晶片结合技术来顺序耦合(90)，以形成变换器(20)。变换器(20)的实施例可以包括沿一个、两个或三个正交轴感测且可以适用于检测在不同加速度感测范围的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 集成 mems 加速度 变换器 | ||
【主权项】：
一种适用于感测加速度的变换器，包括：第一基板，所述第一基板具有第一表面；第一检测质量块，所述第一检测质量块可移动地耦合至所述第一表面并与所述第一基板的所述第一表面间隔开；第二基板，所述第二基板具有第二表面，所述第二基板耦合至所述第一基板，并且所述第二表面面对所述第一表面；以及第二检测质量块，所述第二检测质量块可移动地耦合至所述第二表面并与所述第二基板的所述第二表面间隔开，所述第二检测质量块被设置成面对所述第一检测质量块。
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