[发明专利]形成图案的方法

摘要

一些实施例包含形成开口图案的方法。所述方法可包含在衬底上形成间隔特征。所述特征可具有顶部，且可具有从所述顶部向下延伸的侧壁。可沿所述特征的所述顶部和侧壁形成第一材料。所述第一材料可通过跨越所述特征旋转浇铸所述第一材料的保形层形成，或者通过相对于所述衬底沿所述特征进行选择性沉积来形成。在所述第一材料形成之后，可在所述特征之间提供填充材料，同时使所述第一材料的若干区域暴露。然后，可相对于所述填充材料和所述特征二者选择性地移除所述第一材料的所述暴露区域以产生所述开口图案。

主权项

一种在衬底上形成开口图案的方法，所述方法包括：在衬底上形成间隔特征，所述特征具有顶部且具有从所述顶部向下延伸的侧壁；所述衬底暴露于所述间隔特征之间的间隙内；跨越所述特征的所述顶部和侧壁形成第一材料；形成所述第一材料之后，在所述特征之间提供填充材料，同时使所述第一材料的若干区域暴露；和移除所述第一材料的所述暴露区域；所述第一材料的所述暴露区域的所述移除在所述衬底上产生所述开口图案。