[发明专利]氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置无效
申请号: | 201080004166.0 | 申请日: | 2010-01-07 |
公开(公告)号: | CN102272357A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 三川丰;清见真纪子;镜谷勇二;石黑彻 | 申请(专利权)人: | 三菱化学株式会社;国立大学法人东北大学 |
主分类号: | C30B9/06 | 分类号: | C30B9/06;B01J3/00;C30B7/10;C30B7/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置。利用氨热法使氧浓度低的高纯度氮化物结晶高效地生长。一种氮化物结晶的制造方法,其特征在于,在反应容器内或者与反应容器连接的封闭回路内,使和氨反应生成矿化剂的反应性气体与氨接触生成矿化剂,在上述氨和上述矿化剂的存在下利用氨热法使氮化物结晶生长。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 结晶 制造 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
一种氮化物结晶的制造方法,其特征在于,在反应容器内或者与反应容器相连的封闭回路内,使和氨反应生成矿化剂的反应性气体与氨接触生成矿化剂,在所述反应容器内在氨和所述矿化剂的存在下,利用氨热法由反应容器内放入的氮化物的结晶生长原料生长出氮化物结晶。
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