[发明专利]氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置

权利要求书

1.一种氮化物结晶的制造方法，其特征在于，在反应容器内或者与反应容器相连的封闭回路内，使和氨反应生成矿化剂的反应性气体与氨接触生成矿化剂，在所述反应容器内在氨和所述矿化剂的存在下，利用氨热法由反应容器内放入的氮化物的结晶生长原料生长出氮化物结晶。

2.根据权利要求1所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应性气体是卤化氢气体。

3.根据权利要求2所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应性气体是从氯化氢气体、溴化氢气体及碘化氢气体中选择的1种以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，通过向所述氨供给所述反应性气体而生成矿化剂。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应性气体的水含量以重量基准计在10ppm以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应性气体的氧含量以重量基准计在10ppm以下。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，通过使多种原料气体反应生成所述反应性气体。

8.根据权利要求7所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，通过向所述氨供给所述多种原料气体而生成矿化剂。

9.根据权利要求7或8所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述多种原料气体的水含量以重量基准计均在10ppm以下。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述多种原料气体的氧含量以重量基准计均在10ppm以下。

11.根据权利要求7～10中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述多种原料气体至少由第1原料气体和第2原料气体组成，所述第1原料气体是卤素，所述第2原料气体是和卤素反应生成所述反应性气体的气体。

12.根据权利要求11所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述第2原料气体是从含有氢原子的卤代烷烃和烷烃中选择的1种以上的气体。

13.根据权利要求12所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述第1原料气体是氯气，所述第2原料气体是从甲烷、一氯甲烷、二氯甲烷、及三氯甲烷中选择的1种以上的气体。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，通过在加有氨的反应容器内导入所述反应性气体或者生成所述反应性气体的多种原料气体，从而生成矿化剂，并在所述反应容器内使氮化物结晶生长。

15.根据权利要求1～13中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，在与反应容器相连的封闭回路内的反应容器外，向氨导入所述反应性气体或者生成所述反应性气体的多种原料气体，从而生成矿化剂，而后将含有生成的矿化剂的氨导入所述反应容器内使氮化物结晶生长。

16.根据权利要求14或者15所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，使所述反应性气体或者生成所述反应性气体的多种所述原料气体通过过滤器后导入。

17.根据权利要求14～16中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应容器用从Pt、Ir、W、Ta、Rh、Ru、Re中选择的1种以上的金属或者合金进行内衬。

18.根据权利要求14～17中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应容器是高压釜。

19.根据权利要求14～17中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，所述反应容器是插入高压釜中的衬套管。

20.根据权利要求14～19中任一项所述的氮化物结晶的制造方法，其特征在于，在向所述反应容器内或者与所述反应容器相连的封闭回路内导入氨和反应性气体、或者氨和原料气体前，将含有结晶生长用原料的所述反应容器中用氮气置换。