[实用新型]一种高频晶体管

摘要

本实用新型公开了一种高频晶体管，包括外延片，其特征在于，所述外延片背面设有背金层，所述背金层包括金属Pt层、Ni层、Cr层、W层、Au层，所述由Pt层、Ni层、Cr层、W层、Au层所形成的背金层的总厚度为1±0.18μm，所述外延片与背金层总厚度小于140微米。本实用新型经超减薄后采用五层金属依次溅射在外延片背面，在构成外延片的Si(硅)层、Pt(铂)层、Ni(镍)层、Cr(铬)层、W(钨)层、Au(金)层中，相邻层材料之间具有良好的匹配性，可以使相互之间的接触电阻达到最小，最终导致整体的接触电阻都较小，可降低晶体管的高频损耗，提高高频特性。本实用新型广泛应用在微电子电路中，能耗低，寿命长。

主权项

一种高频晶体管，包括外延片，其特征在于：所述外延片(1)背面设有背金层，所述背金层包括Pt层(2)、Ni层(3)、Cr层(4)、W层(5)、Au层(6)。