[实用新型]Z轴电容式加速度计有效
| 申请号： | 201020617239.0 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN201852852U | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋乐跃;周汉秦 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块，所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，其特征在于：其还包括有连接梁，所述驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧；当驱动质量块转动时，所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。
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