[实用新型]Z轴电容式加速度计

权利要求书

1.一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块，所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，其特征在于：其还包括有连接梁，所述驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧；当驱动质量块转动时，所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。

2.根据权利要求1所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述电容感应极板具有第一转动轴，所述驱动质量块具有第二转动轴，所述第一转动轴和第二转动轴相互平行。

3.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述正电容感应极板和负电容感应极板相对于所述第一转动轴对称。

4.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述第二转动轴设置在所述驱动质量块的一个侧边。

5.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述驱动质量块相对于所述第一转动轴对称。

6.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述连接梁与所述第一转动轴和第二转动轴平行。

7.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述第一转动轴包括上第一转动轴、下第一转动轴，以及连接所述上第一转动轴和下第一转动轴的第一锚点，所述上第一转动轴和下第一转动轴具有相同长度。

8.根据权利要求2所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述第二转动轴包括上第二转动轴、下第二转动轴，以及连接所述上第二转动轴和下第二转动轴的第二锚点，所述上第二转动轴和下第二转动轴具有相同长度。

9.根据权利要求1所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：所述连接梁包括相同长度的上连接梁和下连接梁。

10.根据权利要求1所述的Z轴电容式加速度计，其特征在于：其中电容感应极板的转动方向与驱动质量块的转动方向相反。