[实用新型]半导体基片导电测试仪自动输送装置无效
| 申请号： | 201020574524.9 | 申请日： | 2010-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN201867425U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张志辉;宋暖;欧阳进民 | 申请（专利权）人： | 河南久大电子电器有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，涉及半导体基片导电测试仪，具体地说是涉及一种半导体基片导电测试仪自动输送装置。半导体基片导电测试仪自动输送装置，包括输送带，其特征是：所述的输送带两侧具有护栏，护栏的内侧具有轴承。这样的半导体基片导电测试仪自动输送装置具有结构简单、不易脱落的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 导电 测试仪 自动 输送 装置 | ||
【主权项】：
半导体基片导电测试仪自动输送装置，包括输送带，其特征是：所述的输送带两侧具有护栏，护栏的内侧具有轴承。
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