[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱有效
| 申请号： | 201020546826.5 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN202139293U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李刚;李可;王小举 | 申请（专利权）人： | 上海蓝宝光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/44 | 分类号： | C23C14/44;C23C14/18 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 201616*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备(MOCVD)的中央支柱，包括：中央支柱体(1)、设置在中央支柱体(1)内的导流螺杆(2)、密封中央支柱体(1)和导流螺杆(2)的上盖(7)、固定在上盖(7)上的进水管(5)和出水管(6)、以及与中央支柱体(1)上部固定连接的反应腔顶盖(4)；导流螺杆(2)与中央支柱体(1)之间设有与进水管(5)连通的冷却流道，导流螺杆(2)的中间设有与出水管(6)连通的中间水槽，在导流螺杆(2)的下端设有连通冷却流道和中间水槽的出水槽。该中央支柱体组装完成后起到支撑腔体顶盖(4)的作用，解决了MOCVD工作过程中腔体顶盖(4)由于高温产生的形变，不仅延长了腔体顶盖(4)的寿命问题，也保证了MOCVD工作过程由于形变对气流空间造成的不利影响，保证了生长环境的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 有机物 化学 沉积 设备 中央 支柱 | ||
【主权项】：
一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，其特征在于，包括：中央支柱体(1)、设置在所述中央支柱体(1)内的导流螺杆(2)、密封所述中央支柱体(1)和所述导流螺杆(2)的上盖(7)、固定在所述上盖(7)上的进水管(5)和出水管(6)、以及与所述中央支柱体(1)上部固定连接的反应腔顶盖(4)；所述导流螺杆(2)与所述中央支柱体(1)之间设有与所述进水管(5)连通的冷却流道，所述导流螺杆(2)的中间设有与所述出水管(6)连通的中间水槽，在所述导流螺杆(2)的下端设有连通所述冷却流道和中间水槽的出水槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海蓝宝光电材料有限公司，未经上海蓝宝光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020546826.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种旋转式金属-金刚石/金属层状结构的制备设备
- 下一篇：耐热辊环
- 同类专利
- 专利分类
