[实用新型]一种进料装置有效
| 申请号： | 201020257235.6 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN201845749U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 叶江涛;蒋超;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司;深圳市大族光电设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种进料装置，用于运输垂直支架，包括：吸取支架的吸取系统、向所述吸取系统推送支架的推送系统、分别感应各运输支架的系统以及支架的状态的传感系统，其特征在于：所述推送系统包括承载待进支架的料叉、将所述料叉上的支架推向所述吸取系统的推送杆机构、以及驱动所述推送杆机构运动的推送杆动力机构，所述料叉设有套接支架的纵长形的滑杆；所述吸取系统包括吸取支架的吸爪、带动所述吸爪推送运动的导杆机构、以及驱动所述导杆机构的导杆动力机构，所述吸爪位于所述滑杆的端部。经过推送系统与吸取系统配合，本实用新型所带来的有益效果为缩短了吸爪的行程，提高了机械稳定性，并缩短了吸爪的移动周期，提高了进料效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进料 装置 | ||
【主权项】：
一种进料装置，用于运输垂直支架，包括：吸取支架的吸取系统、向所述吸取系统推送支架的推送系统、分别感应各运输支架的系统以及支架的状态的传感系统，其特征在于：所述推送系统包括承载待进支架的料叉、将所述料叉上的支架推向所述吸取系统的推送杆机构、以及驱动所述推送杆机构运动的推送杆动力机构，所述料叉设有套接支架的纵长形的滑杆；所述吸取系统包括吸取支架的吸爪、带动所述吸爪推送运动的导杆机构、以及驱动所述导杆机构的导杆动力机构，所述吸爪位于所述滑杆的端部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
