[实用新型]用于湿制程设备中的输送装置

摘要

本实用新型涉及一种用于湿制程设备中的输送装置。该输送装置包括上输送装置和下输送装置，上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。在工件水平(或接近水平)传动的过程中，所被输送的工件能够受到一定的由上滚轮的重力产生的压力，从而紧贴在下输送装置上实现平稳输送。这样，在下滚轮单边驱动或上下滚轮双边驱动的情况下，均能确保不会出现工件停止前进或偏移的问题。

主权项

一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，其特征是，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。