[实用新型]用于湿制程设备中的输送装置

说明书

技术领域

概括地说，本实用新型涉及太阳电池制造领域中一种用于湿制程设备中的输送装置；具体地说，本实用新型涉及一种用于湿制程设备中的活动滚轮式输送装置。

背景技术

众所周知，湿制程(Wet Process)是基板制作中的重要工序。在该工序中，将处理液(例如各种化学药液或水)施加在基板表面上，从而实现镀通孔、镀金属、显影、刻蚀、镀保护膜、表面改性或清洗等工艺流程。目前通常使用水平或接近水平的湿制程设备和工艺，其湿制程设备向水平或接近水平经过的基板、硅片或其它片状件、板状件表面施加处理液，从而完成这些工件(例如板件)的湿制程处理。

如图1中所示，现有技术中用于制造太阳电池的水平湿制程设备1包括喷液装置2、处理槽3和处理液输入装置4。当太阳电池片5经滚轮轴上的滚轮传送至湿制程设备1时，处理液输入装置4向处理槽3输入处理液，并由排液装置(未图示)从处理槽3中排出处理液并由喷液装置2喷向工件表面。另外，有一些水平湿制程设备具有多个处理槽，并且这些处理槽彼此相连通。

常规的太阳电池湿制程设备中的输送装置具有水平排列的多根上滚轴和下滚轴，滚轴上装有滚轮，上、下滚轴滚轮的相对转动带动夹在上、下滚轮之间的太阳电池片在上、下滚轮之间输送。驱动机构则可以为单边驱动或双边驱动。单边传动是指用一台电机驱动主滚轴，主滚轴通过齿轮啮合驱动从动滚轴，从而实现两滚轴的相对转动。双边传动则是分别使用两个电机驱动两个滚轴来实现两滚轴的相对转动。

在水平式太阳能电池湿制程设备上，太阳电池片需要沿水平或近似水平方向进出液体槽，并在液体中向前移动。因为太阳电池片比较轻薄，在仅有下层滚轮驱动时，遇到液体或气流等不稳定因素时，容易停止移 动或偏离原有的前进方向，造成卡板或碎片。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够平稳可靠地传送待输送件的用于湿制程设备中的输送装置，确保待输送件在输送过程中不出现漂浮、偏移及损坏现象。

本实用新型的一个方面提供了一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，从而在所述上滚轴运转时所述定位装置也一起运转，并驱动所述上滚轮运转。在这种输送装置中，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。通过这样设置的输送装置，活动滚轮的位置由定位装置进行定位，使得能够实现双边驱动；并且其中，在自然状态下单个活动的滚轮可以在一定范围内自由上下抖动，在设备运行时，活动滚轮在定位装置和下输送装置或所输送的工件作用下滚动。

由于定位装置设置在上滚轮两端部，所述上滚轮与所述上滚轴实现了松配合，使得太阳电池片等工件在输送过程中减少了抖动运行更加平稳。并且，在工件水平(或接近水平)传动的过程中，工件能够受到一定的由上滚轮的重力产生的压力，从而紧贴在下输送装置上。这样，在下滚轮单边驱动或上下滚轮双边驱动的情况下，均能确保不会出现工件停止前进或偏移的问题。

可选地，所述上滚轮的两端部具有缺口，所述定位装置端部具有与所述缺口间隙配合的凸起，所述缺口的宽度大于凸起的宽度。通过这种过盈间隙配合，使得上滚轮可在一定范围内沿垂直于上滚轴的轴芯线方向上下自由抖动。

可选地，在如上所述的输送装置中，所述定位装置穿过所述上滚轴的轴心固定在上滚轴上。通过这样设置的输送装置，所述定位装置的定位非常稳定，能够有效地传递力矩，带动上滚轮滚动。

可选地，在如上所述的输送装置中，所述定位装置是定位销。通过这 样设置的输送装置，定位销的设计和制造更加简便，有效地降低了设计和制造成本。结构简单、可靠性高且安装较方便。

可选地，在如上所述的输送装置中，所述定位装置固定套设在所述上滚轴的外壁上。通过这样设置的输送装置，能够在有效地传递力矩的同时方便了上滚轮和定位装置的安装，无需穿过上滚轴轴芯破坏轴芯结构。

可选地，在如上所述的输送装置中，所述上滚轮呈圆筒形。或者可选地，在如上所述的输送装置中，所述上滚轮呈截两端的圆锥形。通过这样设置的输送装置，可以简化所述上滚轮的设计和制造，有效地降低了设计和制造成本。

附图说明

参照附图，本实用新型的公开内容将更加显然。应当了解，这些附图仅仅用于说明的目的，而并非意在限制本实用新型。图中：

图1示意性地示出了现有技术中的水平(或接近水平)湿制程设备；