[实用新型]用于湿制程设备中的输送装置

权利要求书

1.一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，其特征是，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。

2.如权利要求1所述的输送装置，其特征是，所述上滚轮的两端部具有缺口，所述定位装置端部具有与所述缺口间隙配合的凸起，所述缺口的宽度大于凸起的宽度。

3.如权利要求2所述的输送装置，其特征是，所述定位装置穿过所述上滚轴的轴心固定在上滚轴上。

4.如权利要求3所述的输送装置，其特征是，所述定位装置是定位销。

5.如权利要求2所述的输送装置，其特征是，所述定位装置固定套设在所述上滚轴的外壁上。

6.如权利要求1至5中任一项所述的输送装置，其特征是，所述上滚轮呈圆筒形。

7.如权利要求1至5中任一项所述的输送装置，其特征是，所述上滚轮呈截两端的圆锥形。