[发明专利]铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法

摘要

铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法，用真空泵将反应腔抽到低真空并加热，再用高纯氮清洗反应腔；将衬底在高纯去离子水中超声清洗；将二乙基锌通入反应腔脉冲时间0.1秒，清洗二乙基锌的脉冲时间为3秒；然后通入0.2秒的水蒸汽脉冲，再用4秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，完成一个沉积氧化锌的循环；将三甲基铝通入0.2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为4秒；然后通入水蒸汽脉冲0.2秒，清洗脉冲时间4秒，完成一个沉积氧化铝的循环；多个沉积氧化锌的循环和1个沉积氧化铝的循环组成一个大循环，完成多个大循环后即制得铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。该方法扩宽了铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的应用范围。

主权项

铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到100～150摄氏度，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；步骤二、将衬底在高纯去离子水中超声清洗10‑30分钟，用高纯氮枪吹干，保持衬底有清洁的表面；步骤三、将二乙基锌通入反应腔脉冲时间0.1秒，清洗二乙基锌的脉冲时间为3秒；然后通入0.2秒的水蒸汽脉冲，再用4秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，完成一个沉积氧化锌的循环；步骤四、将三甲基铝通入0.2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为4秒；然后通入水蒸汽脉冲0.2秒，清洗脉冲时间4秒，完成一个沉积氧化铝的循环；步骤五、多个沉积氧化锌的循环和1个沉积氧化铝的循环组成一个大循环，完成多个大循环后即制得铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。