[发明专利]Z轴电容式加速度计

摘要

本发明涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本发明涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。

主权项

一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块，所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，其特征在于：其还包括有连接所述电容感应极板和所述驱动质量块的连接梁，所述驱动质量块和电容感应极板相互分离，所述电容感应极板具有第一转动轴，所述驱动质量块具有第二转动轴，所述第一转动轴和第二转动轴相互平行，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧，所述正电容感应极板和负电容感应极板相对于所述第一转动轴对称，所述第二转动轴设置在所述驱动质量块的一个侧边，所述驱动质量块相对于所述第一转动轴对称，所述连接梁与所述第一转动轴和第二转动轴平行；当驱动质量块转动时，所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。