[发明专利]光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法有效
申请号: | 201010524619.4 | 申请日: | 2010-10-26 |
公开(公告)号: | CN102096319A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 朴廷敏;李政洙;张元荣;李殷相;刘仁浩;金晟贤 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社;东友FINE-CHEM股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/022;G02F1/1333;G02F1/1362;H01L21/77 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 金拟粲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: |
本发明涉及光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法。所述光刻胶组合物包含:碱溶性树脂、包括醌重氮化物化合物的溶解抑制剂、包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物的第一添加剂、包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物的第二添加剂以及有机溶剂。因此,可改善光刻胶图案的耐热性,并且可容易地剥离所述光刻胶图案。结果,可减少和/或防止所述光刻胶图案中的裂纹形成。化学式1 |
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搜索关键词: | 光刻 组合 使用 制造 显示 方法 | ||
【主权项】:
1.光刻胶组合物,包含:碱溶性树脂;溶解抑制剂,包括醌重氮化物化合物;第一添加剂,包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物;第二添加剂,包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物;和有机溶剂,化学式1
化学式2
其中,R1、R2和R3各自独立地表示氢原子、具有1~10个碳原子的烷基、具有1~10个碳原子的羟烷基、或羟基,并且R1、R2和R3中的至少一个表示羟基,R4、R5和R6各自独立地表示氢原子或具有1~3个碳原子的烷基,R7表示其中至少一个氢原子是能替代的具有1~6个碳原子的烃基,R8表示取代或未取代的苄基或苯基,以及m、n和k各自独立地为1~99的整数,其中m、n和k之和为100。
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