[发明专利]光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法有效

专利信息
申请号: 201010524619.4 申请日: 2010-10-26
公开(公告)号: CN102096319A 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 朴廷敏;李政洙;张元荣;李殷相;刘仁浩;金晟贤 申请(专利权)人: 三星电子株式会社;东友FINE-CHEM股份有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/022;G02F1/1333;G02F1/1362;H01L21/77
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 金拟粲
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法。所述光刻胶组合物包含:碱溶性树脂、包括醌重氮化物化合物的溶解抑制剂、包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物的第一添加剂、包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物的第二添加剂以及有机溶剂。因此,可改善光刻胶图案的耐热性,并且可容易地剥离所述光刻胶图案。结果,可减少和/或防止所述光刻胶图案中的裂纹形成。化学式1化学式2
搜索关键词: 光刻 组合 使用 制造 显示 方法
【主权项】:
1.光刻胶组合物,包含:碱溶性树脂;溶解抑制剂,包括醌重氮化物化合物;第一添加剂,包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物;第二添加剂,包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物;和有机溶剂,化学式1化学式2其中,R1、R2和R3各自独立地表示氢原子、具有1~10个碳原子的烷基、具有1~10个碳原子的羟烷基、或羟基,并且R1、R2和R3中的至少一个表示羟基,R4、R5和R6各自独立地表示氢原子或具有1~3个碳原子的烷基,R7表示其中至少一个氢原子是能替代的具有1~6个碳原子的烃基,R8表示取代或未取代的苄基或苯基,以及m、n和k各自独立地为1~99的整数,其中m、n和k之和为100。
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