[发明专利]具有可拆卸式进出气结构的成膜装置

摘要

本发明揭示一种具有可拆卸式进出气结构的成膜装置。该可拆卸式进出气结构主要包含一板体、一排气单元、一成膜原料供应单元，该排气单元设置于板体的一端，且成膜原料供应单元设置于板体的另一端。通过结合创新的传送装置，本发明可以制造出连续且均匀的大面积薄膜。

主权项

一种具有可拆卸式进出气结构的成膜装置，其特征在于，包含：一炉体，包含横向贯穿该炉体的一成膜室，该成膜室包含一基板输入端以及一基板输出端，该成膜室的底部面积介于600mm×600mm至1600mm×1900mm之间；一输送装置，包含贯穿该成膜室的一输送轨道；一第一加热器，设置于该输送轨道下方；一可拆卸式进出气结构，设置于该成膜室上方且面对该输送装置，该可拆卸式进出气结构包含：一板体；一第一锁固元件，围绕该板体，用以将该板体锁固于该炉体上；一排气单元，设置于该板体的一端，且邻近该成膜室的该基板输出端；以及一成膜原料供应单元，设置于该板体中相对于该排气单元的另一端，且邻近该成膜室的该基板输入端；一第一连接元件，设置于该基板输入端，以连接至一第一工艺装置；以及一第二连接元件，设置于该基板输出端，以连接至一第二工艺装置。