[发明专利]一种反射带位置动态可调的选择性滤光片无效
| 申请号： | 201010284485.3 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102004331A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 胡古今;张婷;戴宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02F1/05 | 分类号： | G02F1/05 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反射带位置动态可调的选择性滤光片，该元件依次由FTO玻璃衬底，致密铁电膜层，铁电氧化物介质反射膜堆，致密铁电膜层，透明导电氧化物膜层上电极组成。其特征表现在：I.衬底为F掺杂SnO2涂布的玻璃(简称FTO玻璃)；II.铁电氧化物介质反射膜由折射率不同的锆钛酸铅(PZT)材料在空间交替排列而成；III.两个致密铁电膜层指组分与反射膜材料组分一致的PZT薄膜；IV.氧化物膜层上电极是透明导电的ZnO:Al薄膜。本发明的优势在于：利用PZT材料的电光效应，通过外加直流电场改变PZT薄膜的折射率，使铁电氧化物介质反射膜堆的反射带的中心波长发生移动，进而方便地动态调控滤光片的中心工作频率。该类滤光片在众多技术领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 位置 动态 可调 选择性 滤光 | ||
【主权项】：
一种反射带位置动态可调的选择性滤光片，在衬底(1)上依次置有第一致密铁电膜层(2)，铁电氧化物介质反射膜堆(3)，第二致密铁电膜层(4)和透明导电氧化物膜层上电极(5)，其特征在于：所述的衬底(1)是透明导电氧化物F掺杂SnO2涂布的玻璃；所述的第一致密铁电膜层(2)和第二致密铁电膜层(4)是厚度为100～200nm的锆钛酸铅薄膜；所述的铁电氧化物介质反射膜堆(3)为锆钛酸铅反射膜系，反射膜系由8～16个周期的致密锆钛酸铅和多孔锆钛酸铅膜层交替排列组成，其膜系结构为：第一致密铁电膜层(2)/(HL)n/第二致密铁电膜层(4)其中：H是厚度为40‑100nm的多孔锆钛酸铅薄膜，L是厚度为40‑100nm的致密锆钛酸铅薄膜，n为周期数，取值范围8‑16；所述的透明导电氧化物膜层上电极(5)是厚度为200～400nm的透明导电ZnO:Al薄膜。
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