[发明专利]光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物：其中R¹，R²和R³各自独立表示氢原子或C1-C4烷基，A¹表示单键或C1-C2亚烷基，R⁴和R⁵各自独立表示氢原子或C1-C2烷基，R⁶和R⁷各自独立表示氢原子等。

主权项

1.一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物：其中R¹，R²和R³各自独立表示氢原子或C1-C4烷基，A¹表示单键或C1-C2亚烷基，R⁴和R⁵各自独立表示氢原子或C1-C2烷基，R⁶和R⁷各自独立表示氢原子或C3-C20烃基，或R⁶和R⁷彼此结合以与R⁶和R⁷所结合的氮原子一起形成C2-C12杂环，并且所述烃基和所述杂环可以具有一个或多个取代基，所述取代基选自由下列组成的组：-OH，-SH，-NH₂，烷氧基和-COOR⁸，其中R⁸表示C1-C4烷基，C3-C12饱和环烃基或C6-C12芳烃基，并且所述烃基和所述杂环中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-S-，-CO-，-C(＝NH)-或-NH-代替，并且所述烃基中的一个或多个-CH＝可以被-N＝代替。