[发明专利]光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物，在式(I)中，R¹表示可以具有一个或多个羟基的C2-C12烷基等，R²和R³各自独立表示氢原子等，R⁴，R⁵和R⁶各自独立表示氢原子等，A¹表示单键或C1-C2亚烷基，在所述C1-C2亚烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-代替。

主权项

1.一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物：其中R¹表示可以具有一个或多个羟基的C2-C12烷基或可以具有一个或多个羟基的C7-C12芳烷基，并且所述烷基和芳烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，R²和R³各自独立表示氢原子或可以具有一个或多个羟基的C1-C12烷基，并且所述烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，并且R¹和R²可以彼此结合以与R¹和R²所结合的碳原子一起形成C3-C36环，并且所述环可以具有一个或多个羟基并且所述环中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，R⁴，R⁵和R⁶各自独立表示氢原子，C1-C6烷基，C3-C12饱和环烃基，C6-C12芳烃基或C5-C9杂芳基，并且R⁴和R⁵可以彼此结合以与R⁴和R⁵所结合的-CH-N-一起形成C5-C6杂环，并且所述烷基可以具有一个或多个取代基，所述的取代基选自由下列组成的组：-OH，-SH，-NH₂，C3-C12饱和环烃基，C6-C12芳烃基或C5-C9杂芳基，并且所述烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-S-，-CO-，-C(＝NH)或-NH-代替，并且所述饱和环烃基、所述芳烃基和所述杂芳基可以具有一个或多个取代基，所述的取代基选自由下列组成的组：-OH，-CO-R⁷，-O-CO-R⁷和-CO-O-R⁷，其中R⁷表示C1-C6烷基，并且A¹表示单键或C1-C2亚烷基，所述C1-C2亚烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-代替。