[发明专利]压力传感器及压力传感器的制造方法有效
| 申请号： | 201010220783.6 | 申请日： | 2010-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101943623A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 东条博史;米田雅之 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感器及压力传感器的制造方法，能够防止因漏电流引起的特性异常。该压力传感器(100)具备：形成有扩散电阻布线(6)的第2半导体层(3)、形成在第2半导体层(3)上的绝缘层(7)、形成在绝缘层(7)上的外部导电部(8)。在绝缘膜(7)中，形成有将外部导电部(8)与扩散电阻布线(6)电连接的接点(9)，外部导电部(8)形成在与第2半导体层(3)上形成的扩散电阻布线(6)的范围相当的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，具备：形成有内部电阻部的半导体基板、形成在所述半导体基板上的绝缘膜、和形成在所述绝缘膜上的外部导电部，其特征在于，在所述绝缘膜中，形成有将所述外部导电部与所述内部电阻部电连接的接点，所述外部导电部形成在与所述半导体基板上形成的所述内部电阻部的范围相当的范围内。
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- 一种硬质平膜悬浮式压力传感器，由传感器芯体和传感器壳体构成；传感器芯体中央制有圆柱形内腔，且圆柱形内腔的上端带有缩口台肩，中部为安装传感器芯体的浮动腔，下端为一扩口的内螺纹孔；传感器芯体为空腔圆柱体，且其中上部直径大于下部直径，使其中下部形成一个环形台肩；空腔圆柱体外壁的中部制有环形槽，且环形槽中嵌装有弹性密封环；空腔圆柱体内底面贴有电阻应变计，且电阻应变计上连接有四根引线；传感器芯体通过弹性密封环安装在浮动腔中，上端通过缩口台肩限位，下端通过外螺纹锁紧环安装在内螺纹孔中将传感器芯体限制在浮动腔中。本实用新型传感器芯体在传感器壳体中处于悬浮状态，保证了传感器的精度和长期稳定性。
- 一种水管压力变送器-201821370889.2
- 杨晶 - 天津联科思创科技发展有限公司
- 2018-08-24 - 2019-02-26 - G01L9/04
- 本实用新型公开了一种水管压力变送器，包括水晶接头、导线、压线挡圈、出线连接套、外壳、传输装置、透明灯壳、警示灯、排线、放大电路、应变片、接管嘴、螺纹、螺纹管、底座、绝缘垫片、固定扣和插孔，所述底座的底部与螺纹管的顶部固定连接，螺纹管的外侧壁设有螺纹，螺纹管的内部设有接管嘴，接管嘴的顶部设在底座的内部，底座的上表面设有应变片，应变片设在接管嘴顶部的上方，应变片与放大电路连接，放大电路安装在底座的顶部，放大电路的侧面与绝缘垫片的内侧连接，绝缘垫片的外侧与外壳内侧的底部连接，绝缘垫片的底部与底座的上表面固定连接；所述外壳的一侧设有透明灯壳，透明灯壳的内部设有警示灯。
- 一种跨海桥梁钢吊箱围堰波浪浮托力测量装置及方法-201811394664.5
- 潘东发;张红心;张立超;王东辉;王波;刘鹏飞;刘科;钱玉山;吴肖波;柴小鹏;李鑫;廖远;刘永酃 - 中铁大桥科学研究院有限公司;中铁大桥局集团有限公司
- 2018-11-21 - 2019-02-22 - G01L9/04
- 本发明公开了一种跨海桥梁钢吊箱围堰波浪浮托力测量装置及方法，其中，一种跨海桥梁钢吊箱围堰波浪浮托力测量装置，包括用于吊装围堰的精轧螺纹钢筋，所述精轧螺纹钢筋向下依次穿过：第一分配梁，所述精轧螺纹钢筋上设有用于与所述分配梁连接的第一锁紧螺母，所述第一锁紧螺母设置在所述第一分配梁的顶面上；第二分配梁，所述第二分配梁与所述第一分配梁之间设有千斤顶；下放横梁，所述下放横梁与所述第二分配梁之间设有测力装置。与现有技术相比，本发明，在围堰施工的过程中进行测量，可以在桥址处实测围堰承受的浮托力，在测量过程中可以控制围堰下放高程，测量不同水位下围堰承受的浮托力，测量方法简单、易于操作。
- 一种三维动态磨削力检测装置及其解耦算法-201610244226.5
- 黄智;陈士行;周振武;王洪艳;陈令;李超 - 电子科技大学
- 2016-04-20 - 2019-02-05 - G01L9/04
- 本发明公开了一种三维动态磨削力检测装置及其解耦算法，主要解决了现有电阻应变式磨削测力仪固有频率低、可测动态力范围窄，压电式磨削测力仪制造复杂、价格昂贵、无法检测静态力，多元线性回归解耦算法对检测装置线性度依赖度高，解耦效果不稳定等问题。该三维动态磨削力检测装置主要由底座、立柱、支座、弹性薄板组、上盖板和电阻应变片组组成。待加工工件通过螺纹连接安装在上表面平台上，磨削加工时，磨削力作用在工件上，通过上表面平台传递到立柱，引起立柱产生相应变形，并传递到与其并联安装的三组弹性薄板，三组弹性薄板各组之间安装位姿两两垂直，引起粘贴在弹性薄板上的三组电阻应变片产生相应电阻值变化量，并经过信号调理与采集，传递到PC机，实现了三维动态磨削力的检测。该解耦算法采用BP神经网络作为解耦模型，并通过遗传算法对其初始权值和阀值参数进行优化，得到最优解耦模型，实现三维磨削力信号的高精度解耦。本发明结构设计巧妙，固有频率高，可测动态力范围广，同时可测量静态力，向问耦合程度低，制造简单，大大降低了三维动态磨削力检测装置的制造难度和生产成本，同时解耦算法收敛快、精度高、可靠性高，具有较好的实用和推广价值。
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